[發(fā)明專利]一種測量晶面作用力原子力顯微鏡針尖的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811317187.2 | 申請日： | 2018-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN109507454A | 公開（公告）日： | 2019-03-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 武志剛;王金霞;呂龍昌;李璐璐 | 申請（專利權(quán)）人： | 中北大學 |
| 主分類號： | G01Q60/38 | 分類號： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 030000 山*** | 國省代碼： | 山西;14 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 針尖 原子力顯微鏡 聚焦離子束 微晶 掃描電子顯微鏡 測量 保護層 納米晶 晶面 制備 切割 原子力顯微鏡探針 單晶硅片表面 表面噴涂 超聲分散 單晶硅片 無水乙醇 微探針 樣品臺 液體滴 附著 去除 空洞 應(yīng)用 | ||
1.一種測量晶面作用力原子力顯微鏡針尖的制備方法，其特征在于，包括如下：
步驟一：將納米晶或微晶利用超聲分散到無水乙醇中，然后將一滴分散好的液體滴于單晶硅片表面，室溫下干燥后將單晶硅片和商品原子力顯微鏡針尖固定到掃描電子顯微鏡樣品臺后置于掃描電子顯微鏡內(nèi)；
步驟二：找到分散良好的單個微晶顆粒后，在其表面噴涂Pt保護層；
步驟三：利用聚焦離子束在晶體旁邊進行切割，將晶體孤立于切割形成的硅墻；
步驟四：將微探針準確的置于硅墻的微晶旁邊，噴涂Pt使二者粘合，利用聚焦離子束在晶體旁邊進行切割，最終得到適合的尺寸規(guī)格；
步驟五：利用聚焦離子束對商品針尖進行切割，在針尖得到適宜尺度的方孔；
步驟六：利用微探針將第四步得到的新針尖放置到商品針尖的空洞中，噴涂Pt使二者緊密結(jié)合，最后利用聚焦離子束把微晶表面的Pt保護層去除即可得到最終的針尖。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種測量晶面作用力原子力顯微鏡針尖的制備方法，其特征在于，步驟二中Pt保護層的厚度為1-5微米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種測量晶面作用力原子力顯微鏡針尖的制備方法，其特征在于，Pt保護層的厚度為2微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種測量晶面作用力原子力顯微鏡針尖的制備方法，其特征在于，步驟三中晶體與切割形成的硅墻的間距為20微米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種測量晶面作用力原子力顯微鏡針尖的制備方法，其特征在于，步驟六中的新針尖與商品針尖的空洞匹配，其間距不大于1微米。
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G01Q 掃描探針技術(shù)或設(shè)備；掃描探針技術(shù)的應(yīng)用，例如，掃描探針顯微術(shù)[SPM]
G01Q60-00 特殊類型的SPM [掃描探針顯微術(shù)]或其設(shè)備；其基本組成
G01Q60-02 .多個類型SPM，即包括兩種或更多種SPM技術(shù)
G01Q60-10 .STM [掃描隧道顯微術(shù)]或其設(shè)備，例如STM探針
G01Q60-18 .SNOM [掃描近場光學顯微術(shù)]或其設(shè)備，例如，SNOM探針
G01Q60-24 .AFM [原子力顯微術(shù)]或其設(shè)備，例如AFM探針
G01Q60-44 .SICM [掃描離子電導顯微術(shù)]或其設(shè)備，例如SICM探針
