[發明專利]一種網絡狀納米電阻及其制備方法在審
| 申請號： | 201811312472.5 | 申請日： | 2018-11-05 |
| 公開（公告）號： | CN109521058A | 公開（公告）日： | 2019-03-26 |
| 發明（設計）人： | 張成云;程朗;李煒鍵;劉志宇 | 申請（專利權）人： | 廣州大學 |
| 主分類號： | G01N27/04 | 分類號： | G01N27/04;B82Y40/00;H01C17/08 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 顏希文;宋靜娜 |
| 地址： | 510000 廣東省廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 納米網絡 網絡狀 電阻 襯底材料表面 規則分布 金屬鈀 真空熱蒸發鍍膜 傳感器器件 太陽能電池 襯底材料 大量材料 厚度可控 生物醫藥 無機濾膜 鍍膜 可用 | ||
【權利要求書】：
1.一種網絡狀納米電阻的制備方法，其特征在于，利用真空熱蒸發鍍膜法，以多孔無機濾膜作為襯底材料，制備具有金屬鈀網絡狀納米結構電阻。
2.根據權利要求1所述的網絡狀納米電阻的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)襯底準備：以多孔無機濾膜作為襯底，所述多孔無機濾膜的直徑為1.3cm，厚度為0.5mm，內部密集孔洞的孔徑為20nm；
(2)真空熱蒸發鍍膜：截出需要蒸鍍的長度為0.846mm，稱重為1.996mg的鈀金屬絲，放到蒸發鎢舟上；將多孔無機濾膜置于樣品臺上并固定，蓋上玻璃外罩抽真空，飽和蒸汽壓為2.7×10-3Pa，加載電流為140A；控制鍍膜時間為30s，逐步減小加載電流直至為零，將鍍好膜的多孔無機濾膜取出；
(3)納米電阻模型的制備：將步驟(2)中鍍好膜的多孔無機濾膜放入銅電極基座，并使用銀漿將多孔無機濾膜固定在銅電極基座上，得到所述網絡狀納米電阻。
3.根據權利要求2所述的網絡狀納米電阻的制備方法，其特征在于，所述多孔無機濾膜為多孔氧化鋁濾膜。
4.根據權利要求2所述的網絡狀納米電阻的制備方法，其特征在于，所述鈀金屬絲的純度為99.99％。
5.根據權利要求1～4任一項方法制備得到的網絡狀納米電阻。
6.根據權利要求5所述的網絡狀納米電阻在制備電阻型納米氫氣傳感器件中的應用。
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