[發明專利]獨立控制離子束的偏轉、減速與聚焦的方法在審
| 申請號： | 201811309627.X | 申請日： | 2018-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN111128652A | 公開（公告）日： | 2020-05-08 |
| 發明（設計）人： | 董靜娟 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/147 | 分類號： | H01J37/147;H01J37/317 |
| 代理公司： | 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113 | 代理人： | 馬強 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 獨立 控制 離子束 偏轉 減速 聚焦 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于控制離子束的偏移的方法，其包括：
提供位于離子束的相對側電極的所加電壓；
對離子束的減速進行分級；
獲得兩個偏轉因子，對束線角度進行校正；
獲得電極電壓以調整離子束減速的分級、偏移因子以及聚焦，使得離子束的軌跡位于透鏡的中心處。
2.根據權利要求1所述的用于控制離子束的偏轉的方法，包括對離子束的減速進行分級，給出離子束能量沿著離子束中心軌跡的變化。
4.根據權利要求1所述的用于控制離子束的偏轉的方法，通過控制其中一個參量，控制離子束的偏轉，且將離子束的軌跡通過透鏡的出口。
5.根據權利要求1所述的用于控制離子束的偏轉的方法，通過控制其中一個參量，控制離子束聚焦及殘余能量污染。
6.根據權利要求1所述的用于控制離子束的偏轉的方法，其中將電極電壓指派給上部及下部電極對，使得多個上部及下部電極對的外部電極的電壓保持為負。
7.根據權利要求1所述的用于控制離子束的偏轉的方法，其中所述多個電極的外部抑制電極保持低于上游離子束電位。
8.根據權利要求1所述的用于控制離子束的偏轉的方法，通過控制其中個參量，控制離子束的電子，從而防止去除離子束中的電子。
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