[發(fā)明專(zhuān)利]一種離子束水平與垂直角度測(cè)量裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811309626.5
• 申請(qǐng)日: 2018-10-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111128658A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬國(guó)宇
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01J37/244
• 分類(lèi)號(hào): H01J37/244
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種離子束水平與垂直角度測(cè)量裝置，其特征在于，包括：真空腔體組件，離子束流在其中傳輸，并為測(cè)量機(jī)構(gòu)提供支撐；水平與垂直角度法拉第測(cè)量杯組件，用于測(cè)量離子束流相對(duì)于法拉第杯體入射面法線(xiàn)在水平面和垂直面的傾斜角度；垂直角度測(cè)量驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)所有法拉第測(cè)量杯組件相對(duì)于腔體旋轉(zhuǎn)；水平角度測(cè)量驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于驅(qū)動(dòng)各法拉第測(cè)量杯組件相對(duì)于法拉第測(cè)量組件支架的旋轉(zhuǎn)；離子束流入口處設(shè)有限束光欄，只有一部分規(guī)則形狀束流可以通過(guò)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水平角度測(cè)量驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，該機(jī)構(gòu)是通過(guò)平行四邊形連桿機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的驅(qū)動(dòng)，每個(gè)測(cè)量杯體上都設(shè)置有一個(gè)曲柄，所有杯體上的曲柄通過(guò)一個(gè)連桿與電機(jī)驅(qū)動(dòng)的曲柄聯(lián)接，這樣在測(cè)量水平角度時(shí)，多個(gè)法拉第測(cè)量杯體的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)是一致的，該旋轉(zhuǎn)是法拉第杯體相對(duì)本身垂直軸線(xiàn)的旋轉(zhuǎn)，電機(jī)和曲柄安裝在大氣中，連桿在真空中，曲柄和連桿通過(guò)柔性焊接波紋管聯(lián)接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的垂直角度測(cè)量驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其特征在于，其原理是通過(guò)電機(jī)帶動(dòng)同步帶輪，同步帶輪驅(qū)動(dòng)所有法拉第測(cè)量杯組件支撐軸做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)方式是所有法拉第測(cè)量杯組件圍繞水平固定軸旋轉(zhuǎn)，該位置的真空密封可以通過(guò)磁流體密封或密封圈密封實(shí)現(xiàn)，法拉第測(cè)量杯組件另一端與水平角度測(cè)量驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的法欄連接，該法蘭與真空腔體組件之間設(shè)置有磁流體密封組件，這樣就能保證每個(gè)測(cè)量杯有兩個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，法拉第測(cè)量杯組件整體旋轉(zhuǎn)為公轉(zhuǎn)，每個(gè)法拉第測(cè)量杯組件圍繞軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)為自轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的限束光欄，其特征在于，限束光欄上開(kāi)有細(xì)長(zhǎng)條孔，每個(gè)測(cè)量杯體的正中間位置對(duì)應(yīng)有一個(gè)限束光欄孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的法拉第測(cè)量杯組件，其特征在于，杯體的兩側(cè)由兩件相同的石墨零件組合而成，杯體的中間位置裝有石墨立柱；石墨立柱上有等間距的矩形槽，用于垂直角度測(cè)量面矩形槽為橫向槽，深度為立柱的厚度的1/2，用于水平角度測(cè)量面矩形槽為樅向槽，深度為立柱的厚度的1/2；石墨立柱由陶瓷絕緣件支撐使其與周?chē)妮o助部件絕緣，上下兩個(gè)絕緣件通過(guò)兩個(gè)角接觸軸承與支架連接，這桿每個(gè)杯體就可以相對(duì)于支架做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；每個(gè)杯體的兩側(cè)安裝有抑制磁鐵，杯體的入口和出口都有抑制磁鐵，杯體做旋轉(zhuǎn)時(shí)磁鐵組件與與杯體一起旋轉(zhuǎn)；通過(guò)對(duì)法拉第杯體整體組件的旋轉(zhuǎn)可以調(diào)整法拉第杯體的周向位置，在法拉第杯體用作水平角度測(cè)量時(shí)，開(kāi)有樅向槽一面的杯體正對(duì)束流入射方向，在法拉第杯體用作垂直角度測(cè)量時(shí)，開(kāi)有橫向槽一面的杯體正對(duì)束流入射方向。