[發明專利]一種離子注入機中斷后恢復注入狀態的方法

在審

• 申請號: 201811309623.1
• 申請日: 2018-12-19
• 公開（公告）號: CN111341635A
• 公開（公告）日: 2020-06-26
• 發明（設計）人: 周楊森
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離子注入機中斷后恢復注入狀態的方法包括：續打界面程序(1)、數據庫(2)、調度邏輯程序(3)、注入邏輯程序(4)。其特征在于：續打界面程序(1)、數據庫(2)為自主開發的部分，其中數據庫(2)存儲需要恢復的每個狀態的詳細信息，該信息會通過續打界面程序(1)顯示，并提供給操作者選擇，操作者選定之后，可以通過續打界面程序(1)給調度邏輯程序(3)下指令，進行續打。

2.如權利要求1所示的一種離子注入機中斷后恢復注入狀態的方法，在續打界面程序(1)選定某個要恢復的數據后，會將該條件的部分特征量發送給注入邏輯程序(4)，并通過變量告知注入邏輯程序(4)進行續打而不是正常注入。

3.如權利要求1所示的一種離子注入機中斷后恢復注入狀態的方法，續打界面程序向調度邏輯程序(3)發送的指令，會轉發給注入邏輯程序(4)，調度邏輯程序(3)負責接收所有的指令，并將其分發給各個不同的邏輯程序，這樣可以避免邏輯程序之間復雜的互相調用導致的效率問題及死鎖問題。

4.如權利要求1所示的一種離子注入機中斷后恢復注入狀態的方法，注入邏輯程序(4)將續打界面程序(1)發來的特征量和變量，以及邏輯調度程序(3)發來的指令進行校驗判斷后，從數據庫(2)中獲取到對應的條件恢復數據，進行恢復。