[發明專利]一種In摻雜MoO3

有效

• 申請號: 201811308855.5
• 申請日: 2016-04-19
• 公開（公告）號: CN109449316B
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 王宇;曹蔚然;楊一行;錢磊
• 申請（專利權）人: TCL集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/50;H01L51/54
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 張全文

1.一種In摻雜MoO₃薄膜的制備方法，包括以下步驟：

提供銦鹽和MoO₃，將所述銦鹽和MoO₃溶于有機溶劑中形成混合溶液，在所述混合溶液中加入無機酸后進行加熱處理，得到前驅體溶液，其中，所述無機酸用于防止所述銦鹽水解；所述加熱處理的溫度為50-80℃，所述混合溶液中，所述MoO₃的質量百分濃度為0.02-5％；

提供基底，將所述前驅體溶液采用溶液加工方法沉積在所述基底上，然后進行退火處理，得到In摻雜MoO₃薄膜，其中，所述退火處理的溫度為150-350℃。

2.如權利要求1所述的In摻雜MoO₃薄膜的制備方法，其特征在于，所述退火處理的時間為15-30min。

3.如權利要求1所述的In摻雜MoO₃薄膜的制備方法，其特征在于，所述銦鹽為In(NO₃)₃·H₂O、InCl₃·4H₂O中的至少一種；和/或

所述有機溶劑為二甲氧基乙醇。

4.如權利要求3所述的In摻雜MoO₃薄膜的制備方法，其特征在于，所述無機酸為鹽酸、硝酸中的一種。

5.如權利要求4所述的In摻雜MoO₃薄膜的制備方法，其特征在于，將所述銦鹽和MoO₃溶于有機溶劑中形成混合溶液，在所述混合溶液中加入無機酸的步驟中，所述銦鹽為In(NO₃)₃·H₂O，所述無機酸為硝酸。

6.如權利要求4所述的In摻雜MoO₃薄膜的制備方法，其特征在于，將所述銦鹽和MoO₃溶于有機溶劑中形成混合溶液，在所述混合溶液中加入無機酸的步驟中，所述銦鹽為InCl₃·4H₂O，所述無機酸為鹽酸。

7.如權利要求1-6任一項所述的In摻雜MoO₃薄膜的制備方法，其特征在于，所述混合溶液中，以銦和鉬的總摩爾含量為100％計，所述銦的摩爾百分含量為1-15％。

8.如權利要求1-6任一項所述的In摻雜MoO₃薄膜的制備方法，其特征在于，所述加熱處理采用油浴加熱方式。

9.如權利要求1-6任一項所述的In摻雜MoO₃薄膜的制備方法，其特征在于，所述溶液加工方法選自旋涂、滴涂和浸泡方法中的一種。