[發(fā)明專利]顯示面板及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811306319.1
• 申請日: 2018-11-05
• 公開（公告）號: CN109585503B
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 卓恩宗;張合靜
• 申請（專利權(quán)）人: 惠科股份有限公司;重慶惠科金渝光電科技有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 44240
• 代理人: 邢濤

1.一種顯示面板的制作方法，其特征在于，包括：

在基板上形成主動開關(guān)；

在所述主動開關(guān)上形成色阻層；

在所述色阻層上形成第一電極層；

在所述第一電極層上形成發(fā)光二極管；

在所述發(fā)光二極管上形成第二電極層；

在所述第二電極層上形成封裝層；

設(shè)置驅(qū)動電路，與所述第一電極層和所述第二電極層電連接；

所述發(fā)光二極管包括紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層和藍(lán)色發(fā)光層，所述紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層和藍(lán)色發(fā)光層均包含鍺硅量子點(diǎn)材料；

其中，所述發(fā)光二極管包括：

電子注入層，與所述第一電極層電連接的；

第一電子傳輸層，形成于電子注入層上，所述紅色發(fā)光層形成于第一電子傳輸層上；

第一空穴傳輸層，形成于紅色發(fā)光層上；

第一中間連接器，形成于第一空穴傳輸層上；

第二電子傳輸層，形成于第一中間連接器上，所述綠色發(fā)光層形成于第二電子傳輸層上；

第二空穴傳輸層，形成于綠色發(fā)光層上；

第二中間連接器，形成于第二空穴傳輸層上；

第三電子傳輸層，形成于第二中間連接器上；

藍(lán)色發(fā)光層，形成于第三電子傳輸層上；

第三空穴傳輸層，形成于藍(lán)色發(fā)光層上；

空穴注入層，形成于所述第三空穴傳輸層上，與所述第二電極層電連接；

在所述第一電極層上形成發(fā)光二極管的步驟包括藍(lán)色發(fā)光層的制作方法：

形成膠束；

將膠束形成膠束棒；

將膠束棒按六角形排列形成六角矩陣；

將六角矩陣根據(jù)有機(jī)分子模板自組裝機(jī)制形成模板中間組；

將模板中間組培燒去除模板形成二氧化硅框架；

在二氧化硅框架內(nèi)填充鍺硅量子點(diǎn)材料；

其中，分子模板包括二氧化硅材料制作形成的孔壁；所述孔壁上包括銦鎵鋅氧化物材料的納米晶體，所述納米晶體包含鍺和硅兩種化學(xué)元素；所述分子模板采用鏤空的結(jié)構(gòu)，銦鎵鋅氧化物材料的納米晶體均勻地與介孔二氧化硅混合；位于主體的分子模板表面的硅-氫氧根功能組轉(zhuǎn)換為納米銦鎵鋅氧化物材料、鍺、硅所需的納米粒子。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述紅色發(fā)光層和綠色發(fā)光層包括二氧化硅框架，所述鍺硅量子點(diǎn)材料形成于所述二氧化硅框架內(nèi)，所述二氧化硅框架包括若干圓柱形的孔洞，所述孔洞貫穿二氧化硅框架，所述鍺硅量子點(diǎn)材料填充于所述孔洞內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述主動開關(guān)包括：

源極和漏極，形成于顯示面板的基板上；

兩個邊坡結(jié)構(gòu)，形成于基板上并分別部分覆蓋源極和漏極，兩個邊坡結(jié)構(gòu)之間形成凹槽結(jié)構(gòu)；

半導(dǎo)體層，設(shè)置在兩個邊坡結(jié)構(gòu)之間，連接源極和漏極；

介電層，設(shè)置在兩個邊坡結(jié)構(gòu)之間，形成于半導(dǎo)體層上；

柵極，形成于所述介電層上；

鈍化層，形成于柵極上；

所述半導(dǎo)體層包括二氧化硅框架，所述二氧化硅框架內(nèi)設(shè)置包含銦鎵鋅氧化物材料的納米晶體。