[發明專利]沉積腔室、鍍膜設備及鍍膜方法

在審

• 申請號: 201811303246.0
• 申請日: 2018-11-02
• 公開（公告）號: CN111206203A
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 田保峽;聞益;曲士座
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/02
• 分類號: C23C14/02;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/58
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 許志勇

1.一種沉積腔室，其特征在于，包括至少兩排金屬蒸發源和至少一排非金屬蒸發源；

每排所述金屬蒸發源包括至少兩種金屬蒸發源；

沿著所述沉積腔室的幅長方向，所述至少兩排金屬蒸發源分別設置于所述沉積腔室的兩側，且每排所述金屬蒸發源成直線排布；每排所述金屬蒸發源的總數量為8個。

2.根據權利要求1所述的沉積腔室，其特征在于，每排所述金屬蒸發源包括鎵Ga蒸發源、銦In蒸發源和銅Cu蒸發源；或/和所述非金屬蒸發源為Se蒸發源；

在相鄰兩排所述金屬蒸發源之間設置至少一排所述非金屬蒸發源。

3.根據權利要求1所述的沉積腔室，其特征在于，沿著所述沉積腔室的幅長方向，至少兩排所述金屬蒸發源分別設置于所述沉積腔室的底部；或/和

每排相鄰兩個所述金屬蒸發源之間設置有間隙；或/和

所述非金屬蒸發源為1～5排；或/和

每排相鄰兩個所述非金屬蒸發源之間具有間隙，每排所述非金屬蒸發源的個數為3～18個。

4.根據權利要求1～3任一項所述的沉積腔室，其特征在于，沿所述沉積腔室的幅長方向，每排所述金屬蒸發源的排布順序依次為：

Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，Cu蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源；或者

Cu蒸發源，Ga蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源；或者

Cu蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源；或者

Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，Cu蒸發源，Ga蒸發源，Cu蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源；或者

Cu蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源，Cu蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源；或者

Ga蒸發源，Cu蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源；或者

Ga蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Cu蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，Ga蒸發源，；或者

Ga蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源；或者

Ga蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，In蒸發源，Cu蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源；或者

Ga蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Cu蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源；或者

Ga蒸發源，Cu蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，In蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源；或者

In蒸發源，Cu蒸發源，Ga蒸發源，Cu蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，In蒸發源，；或者

In蒸發源，Ga蒸發源，Cu蒸發源，Cu蒸發源，Cu蒸發源，In蒸發源，Ga蒸發源，Cu蒸發源。

5.根據權利要求1～3任一項所述的沉積腔室，其特征在于，所述Cu蒸發源的中心線、In蒸發源的中心線和Ga蒸發源的中心線與參考線之間的夾角為20-45度，所述參考線為垂直于所述沉積腔室的底部的直線。

6.一種鍍膜設備，其特征在于，包括權利要求1～5任一項所述的沉積腔室；或/和

所述鍍膜設備包括前處理腔室或/和后處理腔室，所述前處理腔室或/和所述后處理腔室中設置有堿金屬化合物蒸發源。

7.根據權利要求6所述的鍍膜設備，其特征在于，所述沉積腔室設置于所述前處理腔室與所述后處理腔室之間；且在所述前處理腔室與所述沉積腔室之間或/和在所述沉積腔室和所述后處理腔室之間設置加熱腔室。

8.一種鍍膜方法，應用于權利要求6或7任一項所述的鍍膜設備，其特征在于，所述方法包括：

控制沉積腔室的溫度達到預設溫度閾值，在沉積腔室中通過沉積工藝在玻璃襯底的表面沉積，形成CIGS薄膜。