[發(fā)明專利]探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置及探針臺(tái)顯微鏡調(diào)節(jié)系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811301244.8
• 申請(qǐng)日: 2018-11-02
• 公開（公告）號(hào): CN109142798A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張文朋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
• 主分類號(hào): G01R1/02
• 分類號(hào): G01R1/02;G01R31/28
• 代理公司: 石家莊國為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 13120
• 代理人: 趙寶琴

1.探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置，其特征在于，包括：

第一齒輪軸，一端裝配第一錐齒輪，另一端裝配第一聯(lián)軸器；

第二齒輪軸，與所述第一齒輪軸垂直，一端裝配第二錐齒輪，另一端裝配第二聯(lián)軸器；

所述第一錐齒輪和所述第二錐齒輪嚙合。

2.如權(quán)利要求1所述的探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一齒輪軸和所述第二齒輪軸均為黃銅制件，所述第一聯(lián)軸器和所述第二聯(lián)軸器均為不銹鋼制件。

3.如權(quán)利要求1所述的探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一錐齒輪和所述第二錐齒輪的齒頂圓直徑的取值范圍均為8-13mm。

4.如權(quán)利要求1所述的探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一齒輪軸與所述第二齒輪軸的長(zhǎng)度取值范圍均為15-20mm。

5.如權(quán)利要求1所述的探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一齒輪軸與所述第二齒輪軸的直徑取值范圍均為3-5mm。

6.如權(quán)利要求1所述的探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一聯(lián)軸器和所述第二聯(lián)軸器的直徑取值范圍均為10-20mm。

7.如權(quán)利要求1所述的探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一聯(lián)軸器和所述第二聯(lián)軸器的長(zhǎng)度取值范圍均為8-15mm。

8.如權(quán)利要求1所述的探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置，其特征在于，所述第一聯(lián)軸器設(shè)有兩個(gè)用于與所述第一齒輪軸配合的第一中心孔和用于鎖定所述第一齒輪軸的第一鎖緊螺釘，所述第一聯(lián)軸器設(shè)有徑向與所述第一中心孔連通的第一螺紋孔；

所述第二聯(lián)軸器設(shè)有兩個(gè)用于與所述第二齒輪軸配合的第二中心孔和用于鎖定所述第二齒輪軸的第二鎖緊螺釘，所述第二聯(lián)軸器設(shè)有兩個(gè)徑向與所述第二中心孔連通的第二螺紋孔。

9.如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的探針臺(tái)剛性傳動(dòng)裝置，其特征在于，還包括扭矩傳感器和用于裝配所述扭矩傳感器的動(dòng)力輸入軸，借助所述第一聯(lián)軸器或所述第二聯(lián)軸器，所述動(dòng)力輸入軸的一端與所述第一齒輪軸或所述第二齒輪軸傳動(dòng)連接，所述動(dòng)力輸入軸的另一端設(shè)有手輪。

10.探針臺(tái)顯微鏡調(diào)節(jié)系統(tǒng)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的剛性傳動(dòng)裝置，所述第一聯(lián)軸器與動(dòng)力機(jī)構(gòu)相連，所述第二聯(lián)軸器連接顯微鏡調(diào)節(jié)裝置。