[發明專利]一種鍍膜夾具及其載條和制作方法

在審

• 申請號: 201811301030.0
• 申請日: 2018-11-02
• 公開（公告）號: CN109326551A
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 王秋貞;匡華強
• 申請（專利權）人: 江蘇海德頻率科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 陳曉華

1.一種鍍膜夾具，其特征在于：包括從下到上依次設置的下蓋板、下底板、上底板、下掩膜、定位片、上掩膜和上蓋板。

2.根據權利要求1所述的鍍膜夾具，其特征在于：所述定位片上設有若干定位區，每個定位區由若干等間距設置的定位孔組成；

所述下掩膜和上掩膜上設有等數量的鍍膜區，下掩膜和上掩膜上鍍膜區的數量均與定位片上定位區的數量相等，鍍膜區由若干等間距設置的鍍膜孔組成，所述下掩膜上的鍍膜孔與上掩膜上的鍍膜孔鏡像設置；

所述下蓋板、下底板、上底板和上蓋板上均設有等數量的開孔，下蓋板、下底板、上底板和上蓋板上開孔的數量均與定位片上定位區的數量相等。

3.根據權利要求2所述的鍍膜夾具，其特征在于：每個定位區中定位孔呈橫向7個，縱向16個的矩陣分布，且總數量為672個，鍍膜區的鍍膜孔與對應的定位區中的定位孔一一對應。

4.根據權利要求1所述的鍍膜夾具，其特征在于：所述下蓋板、下底板、上底板、下掩膜、定位片、上掩膜和上蓋板上均設有兩個固定孔。

5.根據權利要求1所述的鍍膜夾具，其特征在于：所述上底板焊接在下底板上，上底板的內部設有若干磁鐵，磁鐵沿著上底板的開孔外周均勻分布。

6.根據權利要求1所述的鍍膜夾具，其特征在于：鍍膜夾具的厚度為1.8～2.1mm，長度為101mm，寬度為52.9mm。

7.一種用于權利要求1-6任一項所述的鍍膜夾具的載條，其特征在于：包括底座和若干導向條，各導向條等間距設置在底座的上端面，各鍍膜夾具嵌入到兩兩相鄰的導向條之間。

8.根據權利要求7所述的載條，其特征在于：所述底座的長度為350mm，導向條的兩側均設有導槽，且導槽的寬度為2.1mm。

9.一種用于權利要求1-8中任一項所述的鍍膜夾具的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：按照指定外形尺寸，設計下蓋板、下底板、上底板、下掩膜、定位片、上掩膜和上蓋板；

其中，根據需要滿足的C0、C1和Rr值，再結合公式C0＝0.0402×A×F標÷K+(0.2～0.8)，設計出對應的定位片上固定晶片位置、下掩膜和上掩膜的尺寸；

步驟二：下底板安裝在下蓋板的上面；

步驟三：上底板焊接在下底板的上面；

步驟四：磁鐵裝在上底板的內部；

步驟五：下掩膜和定位片依次安裝在上底板的上面，且通過磁鐵吸住；

步驟六：排好晶片；

步驟七：依次蓋上上掩膜和上蓋板。