[發明專利]一種安放穩固的天然氣退火爐

在審

• 申請號: 201811300244.6
• 申請日: 2018-11-02
• 公開（公告）號: CN111139529A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 翁益連
• 申請（專利權）人: 揚州金辰不銹鋼制造有限公司
• 主分類號: C30B33/02
• 分類號: C30B33/02
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

本發明涉及半導體制造技術領域，且公開了一種安放穩固的天然氣退火爐，包括退火爐主體，所述退火爐主體的正面固定安裝有控制箱，所述退火爐主體的右側固定安裝有支撐座。該安放穩固的天然氣退火爐，通過連接座和支撐柱上分別設置有螺紋孔與限位孔，螺桿通過貫穿螺紋孔與限位孔將支撐柱固定在連接座的內部，支撐柱上設置有八個限位孔，使用者可以根據地形調整每一個支撐柱的位置，調整好后通過螺桿和螺帽將支撐柱和連接座固定好，使退火爐主體可以在多種地形穩固安放，通過四個支撐腳的表面均設置有四個固定孔，便于使用者通過向固定孔打膨脹螺絲，加強與地面的固定，到達了安放穩固的效果。

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，具體為一種安放穩固的天然氣退火爐。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設計的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底，退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中，例如氧化，或者可以自己處理，退火爐是由專門為加熱半導體晶片而設計的設備完成的，退火爐是節能型周期式作業爐，超節能結構，采用纖維結構，節電60％，天然氣退火爐是周期性作業爐，節能效果達到65％左右，臺車裝有采用防撞擊軟密封結構，爐門裝有彈簧鎖緊機構，自動密封臺車和爐門，應用于高錳鋼鑄件、不銹鋼、高鉻鑄件、碳鋼、球墨鑄鐵、軋輥和鋼球等機械零件的淬火和退火時使用。

目前市場上的天然氣退火爐，節能效果強，工作能力出眾，逐漸成為退火爐的首選，深受使用者的喜愛，然而在使用過程中，因其自身結構固定，對安放場地有一定的要求，不能根據工作場地調整安放狀態，給天然氣退火爐的使用帶來一定局限性，故而提出一種安放穩固的天然氣退火爐解決上述問題。

發明內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本發明提供了一種安放穩固的天然氣退火爐，具備安放穩固等優點，解決了因其自身結構固定，對安放場地有一定的要求，不能根據工作場地調整安放狀態，給天然氣退火爐的使用帶來一定局限性的問題。

(二)技術方案

為實現上述安放穩固目的，本發明提供如下技術方案：一種安放穩固的天然氣退火爐，包括退火爐主體，所述退火爐主體的正面固定安裝有控制箱，所述退火爐主體的右側固定安裝有支撐座，所述支撐座的頂部且位于退火爐主體的右側固定安裝有安裝平臺，所述安裝平臺的頂部且位于退火爐主體的右側固定安裝有機箱，所述退火爐主體的底部固定連接有退火爐底座，所述退火爐底座的外部固定安裝有連接座，所述連接座的頂部開設有連接口，所述連接口的內部活動連接有支撐柱，所述支撐柱的外部套裝有限位塊，所述支撐柱的外部開設有限位孔，所述限位孔的底部且位于支撐柱的底部固定連接有支撐腳，所述支撐腳的底部固定連接有墊片，所述支撐腳的頂部開設有固定孔，所述連接座的右側開設有螺紋孔，所述螺紋孔的內部螺紋連接有螺桿，所述螺桿的外部且位于連接座的左側螺紋連接有螺帽。

優選的，所述退火爐底座的外部固定連接有四個連接座，支撐腳的頂部開設有四個固定孔。

優選的，所述支撐柱貫穿連接口延伸至支撐腳的頂部，所述連接座通過連接口與支撐柱活動連接。

優選的，所述螺桿貫穿螺紋孔和限位孔延伸至連接座的外部，所述連接座通過螺桿固定連接有支撐柱。

優選的，所述螺帽、連接座和限位孔的內部均開設有與螺桿相匹配的螺紋槽，所述螺帽、連接座和限位孔均通過螺紋槽與螺桿螺紋連接。

優選的，所述墊片為橡膠墊，所述限位孔的外部開設有八個限位孔。

(三)有益效果

與現有技術相比，本發明提供了一種安放穩固的天然氣退火爐，具備以下有益效果：