[發明專利]一種節能環保型天然氣退火爐

在審

• 申請號: 201811300082.6
• 申請日: 2018-11-02
• 公開（公告）號: CN111139528A
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 翁益連
• 申請（專利權）人: 揚州金辰不銹鋼制造有限公司
• 主分類號: C30B33/02
• 分類號: C30B33/02
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

本發明涉及天然氣退火爐技術領域，且公開了一種節能環保型天然氣退火爐，包括爐體，所述爐體的內底壁固定安裝有支撐座，所述支撐座的頂部活動連接有集渣箱，所述爐體的上下兩側內壁均通過隔板固定連接，兩個所述隔板的內部開設有出渣孔，所述爐體的內壁固定安裝有固定板，所述固定板的內部固定安裝有通風管，所述固定板的底部且位于通風管的左右兩側均固定連接有支桿，兩個所述支桿的底端均通過收集板固定連接，所述通風管的底端貫穿并延伸至收集板的底部，所述固定板的頂部且位于通風管的左右兩側均固定連接有連接桿。該節能環保型天然氣退火爐，回收熱量，加以利用，節省能源。

技術領域

本發明涉及天然氣退火爐技術領域，具體為一種節能環保型天然氣退火爐。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設計的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

天然氣退火爐是對加工物件進行退貨工序的設備，然而天然氣退火爐在使用的過程中，設備會產生大量的熱量，然而一般的設備不具備收集熱量的功能，導致熱量會散發到空氣中，浪費了大量的資源，故而提出一種節能環保型天然氣退火爐來解決上述問題。

發明內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本發明提供了一種節能環保型天然氣退火爐，具備回收熱量，加以利用，節省能源等優點，解決了一般的設備不具備收集熱量的功能，導致熱量會散發到空氣中，浪費了大量的資源的問題。

(二)技術方案

為實現上述回收熱量，加以利用，節省能源的目的，本發明提供如下技術方案：一種節能環保型天然氣退火爐，包括爐體，所述爐體的內底壁固定安裝有支撐座，所述支撐座的頂部活動連接有集渣箱，所述爐體的上下兩側內壁均通過隔板固定連接，兩個所述隔板的內部開設有出渣孔，所述爐體的內壁固定安裝有固定板，所述固定板的內部固定安裝有通風管，所述固定板的底部且位于通風管的左右兩側均固定連接有支桿，兩個所述支桿的底端均通過收集板固定連接，所述通風管的底端貫穿并延伸至收集板的底部，所述固定板的頂部且位于通風管的左右兩側均固定連接有連接桿，兩個所述連接桿相對的一端均通過抽風機固定連接，所述抽風機的進風口與通風管固定連接，所述抽風機的出風口固定安裝有出風管，所述固定板的頂部且位于抽風機的左右兩側均固定安裝有收集箱，兩個所述收集箱的內底壁均固定連接有水箱，兩個所述水箱相離的一側均固定連接有出水管，兩個所述出水管相離的一端均貫穿并延伸至爐體的外部，兩個所述收集箱的頂部均通過連接管固定連接，所述連接管的底部與出風管的頂端固定連接，所述爐體底部的左右兩側均固定安裝有底座，兩個所述底座的底部均通過底板固定連接。

優選的，兩個所述支桿的頂端均與固定板底部的連接角度為九十度。

優選的，兩個所述隔板呈平行狀，所述隔板上出渣孔的數量不小于十個，且均勻分布在兩個隔板上。

優選的，所述爐體的左側且對應集渣箱處鉸接有箱蓋，所述箱蓋的尺寸大于集渣箱左側的尺寸。

優選的，所述連接管呈U形，所述連接管的外表面固定安裝有套管，所述套管的頂部通過固定桿與爐體的內壁固定連接。

優選的，所述收集板呈圓錐形，所述收集箱的內表面與通風管的外表面接觸，所述收集箱的內徑小于收集板底部的內徑。

(三)有益效果

與現有技術相比，本發明提供了一種節能環保型天然氣退火爐，具備以下有益效果：