[發明專利]感光芯片不同入射角響應度測量裝置及測量方法

在審

• 申請號: 201811299560.6
• 申請日: 2018-11-02
• 公開（公告）號: CN109612690A
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發明（設計）人: 馮鵬;唐鋒;王向朝
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

1.一種感光芯片不同入射角響應度的測量裝置，其特征在于，包括準直激光器(1)、光衰減器(2)、帶感光芯片的相機(3)、旋轉位移臺(4)，

所述的帶有感光芯片的相機(3)是將待測的感光芯片置于所述的相機(3)構成的，所述的帶有感光芯片的相機(3)固定在所述的旋轉位移臺(4)上，所述的準直激光器(1)輸出的準直光通過光衰減器(2)衰減后，準直地入射至帶感光芯片的相機(3)的感光芯片光敏面。

2.根據權利要求1所述的感光芯片不同入射角響應度測量裝置，其特征在于，所述的準直激光器(1)是自由空間輸出準直激光的器件，或由光纖激光器(5)和準直鏡(6)構成。

3.根據權利要求1所述的感光芯片不同入射角響應度測量裝置，其特征在于，所述的光衰減器(2)是衰減片、或遮光片、或光纖衰減器。

4.利用權利要求1所述的感光芯片不同入射角響應度測量裝置測量感光芯片不同入射角響應度的方法，其特征在于，該方法包括下述步驟：

1)將待測的感光芯片置于所述的相機(3)構成帶有感光芯片的相機(3)，調節所述的旋轉位移臺(4)，使所述的準直激光器(1)輸出的準直光正入射所述的帶有感光芯片的相機(3)的感光芯片的光敏面；

2)調節所述的光衰減器(2)，保證所述的準直光正入射相機的感光芯片時，所述的相機(3)接收到的光強信號不會溢出，然后固定所述的光衰減器(2)，使光束強度保持不變；

3)調節所述的旋轉位移臺(4)使準直光束與所述的相機(3)的感光芯片光敏面之間形成不同角度，設置N個采樣測量角度，a_i為采集第i幅圖像時準直光束與感光芯片光敏面之間的夾角，i＝1、2、…、N，采集N幅圖像；

4)用圖像處理軟件計算所采集到的圖像，依次得到所述的N幅圖像的最大像素值為X₁、X₂、…、X_N；

5)所述的相機(3)經旋轉臺(4)旋轉后與準直光束之間產生夾角為a_i，a_i≠90°時，其光敏面上旋轉方向上的光斑會變長，導致采集到的像素最大值需要修正，修正的比例因子為K：K(a_i)＝1/sin(a_i)，i＝1、2、…、N；

則修正前的N幅圖像的最大像素值為X_i，i＝1、2、…、N；

修正后的各值為：Y_i＝K(a_i)*X_i，i＝1、2、…、N；

6)修正數據經歸一化再結合所對應的入射角度值，即可得到感應芯片不同入射角響應圖。