[發(fā)明專利]移載設(shè)備以及移載方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811298121.3
• 申請(qǐng)日: 2018-11-02
• 公開（公告）號(hào): CN109928188B
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 坂田博史
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社大福
• 主分類號(hào): B65G47/64
• 分類號(hào): B65G47/64;B65G47/74
• 代理公司: 北京旭知行專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11432
• 代理人: 王軼;陳東升

本發(fā)明是在貨叉單元(40)與移載機(jī)(20)之間對(duì)盒體(90)進(jìn)行移載的移載設(shè)備(10)，其具備推動(dòng)件(25)，該推動(dòng)件(25)對(duì)盒體(90)在貨叉單元(40)的載置面(41a)的位置進(jìn)行限制，貨叉單元(40)在載置面(41a)上具備浮動(dòng)單元(50)，浮動(dòng)單元(50)為將具備物品載置支承用的支承部(51)的活動(dòng)部(52)托擋支承為相對(duì)于固定部(53)沿水平方向移動(dòng)自如的構(gòu)造，盒體(90)支承于物品載置支承用的支承部(51)，使得活動(dòng)部(52)能夠相對(duì)于固定部(53)沿水平方向移動(dòng)、且利用推動(dòng)件(25)對(duì)盒體(90)的位置進(jìn)行限制，由此進(jìn)行盒體(90)的定位。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在第一移載機(jī)與第二移載機(jī)之間對(duì)物品進(jìn)行移載的移載設(shè)備，該第一移載機(jī)供物品載置并使該物品沿水平方向進(jìn)行進(jìn)入或退出移動(dòng)，該第二移載機(jī)對(duì)物品的上部進(jìn)行支承并使該物品沿鉛直方向進(jìn)行升降移動(dòng)。

背景技術(shù)

作為上述移載設(shè)備，例如存在將收納有基板的盒體(物品)向作為處理裝置的腔室移載的設(shè)備(例如參照專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1的移載設(shè)備中，盒體輸送單元(第一移載機(jī))將由輸送臺(tái)車單元輸送的盒體向設(shè)備內(nèi)輸入，盒體移載單元(第二移載機(jī))將由盒體輸送單元輸入的盒體向腔室輸入。或者，盒體移載單元將輸入到腔室內(nèi)的盒體輸出，盒體輸送單元將由盒體移載單元輸送的盒體向輸送臺(tái)車單元移載。

對(duì)于由盒體輸送單元從輸送臺(tái)車單元移載的盒體，在利用盒體移載單元將該盒體向腔室輸入之前，將該盒體載置于在腔室的上方所設(shè)置的承接臺(tái)。同樣地，對(duì)于由盒體移載單元從腔室輸出的盒體，在利用盒體輸送單元將該盒體向輸送臺(tái)車單元移載之前，將該盒體載置于承接臺(tái)。

盒體移載單元從上方對(duì)盒體進(jìn)行把持并使其進(jìn)行升降移動(dòng)，由此，將載置于承接臺(tái)的盒體向腔室輸入、或者將從腔室輸出的盒體向承接臺(tái)輸入。

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：韓國(guó)登記專利第10－1511963號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

但是，如上所述的移載設(shè)備中，當(dāng)在盒體輸送單元(第一移載機(jī))與盒體移載單元(第二移載機(jī))之間對(duì)盒體(物品)進(jìn)行移載時(shí)，需要在移載中途暫時(shí)將盒體(物品)載置于承接臺(tái)的動(dòng)作。此外，當(dāng)盒體移載單元(第二移載機(jī))對(duì)盒體(物品)進(jìn)行把持并使其進(jìn)行升降移動(dòng)時(shí)，盒體(物品)與承接臺(tái)發(fā)生干擾，因此，為了避免與承接臺(tái)發(fā)生干擾，需要使盒體(物品)回旋等動(dòng)作。因此，存在如下問題，即，盒體輸送單元(第一移載機(jī))與盒體移載單元(第二移載機(jī))之間的盒體(物品)的移載耗費(fèi)時(shí)間。

因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠高效地對(duì)第一移載機(jī)與第二移載機(jī)之間的物品進(jìn)行移載的移載設(shè)備，其中，所述第一移載機(jī)供物品載置并使該物品沿水平方向進(jìn)行進(jìn)入或退出移動(dòng)，所述第二移載機(jī)對(duì)物品的上部進(jìn)行支承并使該物品沿鉛直方向進(jìn)行升降移動(dòng)。

本發(fā)明所要解決的課題如上所述，接下來，對(duì)用于解決該課題的方案進(jìn)行說明。

即，本發(fā)明的移載設(shè)備是在第一移載機(jī)與第二移載機(jī)之間對(duì)物品進(jìn)行移載的移載設(shè)備，該第一移載機(jī)供物品載置并使該物品沿水平方向進(jìn)行進(jìn)入或退出移動(dòng)，該第二移載機(jī)對(duì)物品的上部進(jìn)行支承并使該物品沿鉛直方向進(jìn)行升降移動(dòng)，其中，具備位置限制裝置，該位置限制裝置與載置于所述第一移載機(jī)的載置面的物品的側(cè)面抵接而對(duì)所述物品在所述載置面的位置進(jìn)行限制，所述第一移載機(jī)在其載置面上具備浮動(dòng)單元，所述浮動(dòng)單元是將具備物品載置支承用的支承部的活動(dòng)部托擋支承為相對(duì)于固定部在水平方向上移動(dòng)自如的構(gòu)造，所述物品支承于所述物品載置支承用的支承部，使得所述活動(dòng)部能夠相對(duì)于所述固定部沿水平方向移動(dòng)、且利用所述位置限制裝置對(duì)所述物品的位置進(jìn)行限制，由此在所述載置面上進(jìn)行物品相對(duì)于所述第二移載機(jī)的升降位置的定位。

上述結(jié)構(gòu)中，載置于第一移載機(jī)的載置面的物品被定位于第二移載機(jī)的升降位置。

本發(fā)明的移載設(shè)備在上述移載設(shè)備的基礎(chǔ)上，具備定位機(jī)構(gòu)，該定位機(jī)構(gòu)進(jìn)行所述第一移載機(jī)相對(duì)于所述第二移載機(jī)的升降位置的定位。