[發(fā)明專利]激光顯微切割儀及其工作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811297289.2
• 申請日: 2018-11-01
• 公開（公告）號: CN109251857B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡舜迪;聞路紅;甘劍勤;郭榮;洪歡歡;陳臘
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州市華粵行醫(yī)療科技有限公司
• 主分類號: C12M1/42
• 分類號: C12M1/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種激光顯微切割儀，所述激光顯微切割儀包括激光器、物鏡單元；其特征在于：所述物鏡單元包括：

殼體，所述殼體內(nèi)具有沿著所述殼體中心軸線的光學(xué)通道；所述激光器設(shè)置在殼體內(nèi)，出射的破膜光的波長為λ₁，所述激光器在所述光學(xué)通道的垂直于所述中心軸線上的截面上的投影面積為0；

波長轉(zhuǎn)換部件，所述波長轉(zhuǎn)換部件設(shè)置在所述殼體內(nèi)，且處于所述激光器的出射光光路上；所述波長轉(zhuǎn)換部件根據(jù)需要地轉(zhuǎn)換破膜光的波長，轉(zhuǎn)換光的波長λ₂∈[380nm,780nm]；所述波長轉(zhuǎn)換部件的轉(zhuǎn)換效率可調(diào)；

濾光開關(guān)，所述濾光開關(guān)用于根據(jù)需要地阻止波長為λ₁的破膜光射向胚胎；

二維掃描鏡單元，所述二維掃描鏡單元將破膜光和/或轉(zhuǎn)換光反射到反光鏡；所述二維掃描鏡單元和波長轉(zhuǎn)換部件在所述截面上的投影面積為0；

反光鏡，所述反光鏡設(shè)置在所述光學(xué)通道內(nèi)；反光鏡上的反射光在所述光學(xué)通道內(nèi)傳輸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光顯微切割儀，其特征在于：所述反光鏡對所述破膜光的反射率大于90％，所述破膜光的反射率大于對所述轉(zhuǎn)換光的反射率。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光顯微切割儀，其特征在于：所述反光鏡對波長λ₃的光的反射率小于1％，λ₃∈[380nm,λ₂)∪(λ₂，780nm]。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光顯微切割儀，其特征在于：所述物鏡單元進一步包括：

反射鏡單元，所述反射鏡單元設(shè)置在所述殼體內(nèi)，將所述轉(zhuǎn)換光反射到二維掃描鏡單元；所述反射鏡單元在所述截面上的投影面積為0。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光顯微切割儀，其特征在于：所述反射鏡單元包括：

第一反射鏡，所述出射光依次被第一反射鏡和第二反射鏡反射；

第二反射鏡，所述第一反射鏡和第二反射鏡沿著所述光學(xué)通道的周向設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光顯微切割儀，其特征在于：所述二維掃描鏡單元包括：

第一掃描鏡，所述第一掃描鏡和第二掃描鏡上下設(shè)置；所述第一反射鏡、第二反射鏡和第一掃描鏡沿著所述光學(xué)通道的周向設(shè)置；

第二掃描鏡，第一掃描鏡和第二掃描鏡的旋轉(zhuǎn)軸相互垂直。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光顯微切割儀，其特征在于：所述波長轉(zhuǎn)換部件是倍頻部件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光顯微切割儀，其特征在于：波長λ₁，λ₁∈[1400nm,1500nm]。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一所述的激光顯微切割儀的工作方法，所述工作方法包括以下步驟：

(A1)激光器發(fā)出的破膜光入射到波長轉(zhuǎn)換部件；

(A2)波長轉(zhuǎn)換部件工作，將所述破膜光的波長λ₁轉(zhuǎn)換到波長λ₂∈[380nm,780nm]；

(A3)轉(zhuǎn)換光經(jīng)過二維掃描鏡單元、反光鏡后射到胚胎上；

調(diào)整二維掃描鏡單元，使得轉(zhuǎn)換光射到胚胎的指定位置；波長λ₁的破膜光被阻止射到胚胎上；

(A4)調(diào)整波長轉(zhuǎn)換部件的工作狀態(tài)，激光器發(fā)出的破膜光依次經(jīng)過所述二維掃描鏡單元和反光鏡后射到胚胎的指定位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的工作方法，其特征在于：在步驟(A4)中，所述破膜光穿過所述波長轉(zhuǎn)換部件時，少部分破膜光轉(zhuǎn)換為轉(zhuǎn)換光，大部分破膜光波長不變地穿過波長轉(zhuǎn)換部件；破膜光和轉(zhuǎn)換光均射到胚胎的指定位置。