[發明專利]一種諧波減速器表面金剛石薄膜的制備方法

在審

• 申請號: 201811296188.3
• 申請日: 2018-11-01
• 公開（公告）號: CN109457214A
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發明（設計）人: 曾暉;林順蛟;李瑞;李金輝
• 申請（專利權）人: 佛山市南海區里水鎮經濟促進局;中山大學
• 主分類號: C23C14/02
• 分類號: C23C14/02;C23C14/06;C23C14/22;C23C14/34
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 陳衛

1.一種諧波減速器表面金剛石薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1.先對諧波減速器的表面進行清洗；

S2.然后對諧波減速器的表面進行離子轟擊；

S3.向真空室內通入氬氣，采用離子束增強沉積的物理氣相沉積法，用Ar離子束，以45°的角入射濺射靶材，靶材為含金剛石、鈦、鎢的復合材料，諧波減速器安裝在樣品臺，樣品臺以10～30r/min的角速度自轉，沉積時間為1～3h。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，S1所述清洗為分別進行丙酮超聲波清洗和乙醇超聲清洗，清洗超聲的溫度在40℃～80℃，超聲的時間為10～100 min。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，S2所述離子轟擊為將諧波減速器置于真空度為10^-4～10^-1Pa環境下，通入Ar，控制時間為10～100 min，電壓為300～2000V。

4.據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，S3所述的Ar離子束的入射能量為1～3KeV，電流為30～60mA。

5.據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，S3所述的含金剛石、鈦、鎢的復合材料，鎢含量為2～6%，鈦含量為2～6%。

6.權利要求1～5任一項所述制備方法制備得到的表面具有金剛石薄膜的諧波減速器。