[發明專利]顯示面板及其制造方法、顯示終端有效
| 申請號: | 201811295217.4 | 申請日: | 2018-11-01 |
| 公開(公告)號: | CN110783368B | 公開(公告)日: | 2022-10-18 |
| 發明(設計)人: | 崔志遠 | 申請(專利權)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;H01L51/00;H01L21/77 |
| 代理公司: | 華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凱 |
| 地址: | 065500 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 顯示 面板 及其 制造 方法 終端 | ||
本發明涉及顯示器件技術領域,特別是涉及一種顯示面板及其制造方法、顯示終端。一種顯示面板,可包括:柔性襯底,具有顯示區和非顯示區,所述非顯示區包括扇出區;刻蝕阻擋層,覆蓋所述柔性襯底的上表面;緩沖層,位于所述顯示區中且覆蓋所述刻蝕阻擋層的上表面;以及TFT器件層,設置在所述緩沖層之上且位于所述顯示區中;其中,所述TFT器件層包括用于外接有源區的M3金屬層,所述M3金屬層由M3金屬薄膜刻蝕形成;在所述扇出區中,所述M3金屬薄膜覆蓋所述緩沖層的上表面,以及所述M3金屬薄膜與所述刻蝕阻擋層的刻蝕選擇比大于等于10,以在形成M3金屬層時,利用上述的刻蝕阻擋層對柔性襯底進行保護,進而有效避免柔性襯底被過刻蝕。
技術領域
本發明涉及顯示器件技術領域,特別是涉及一種顯示面板及其制造方法、顯示終端。
背景技術
隨著電子設備的快速發展,用戶對屏占比的要求越來越高,使得電子設備的全面屏顯示受到業界越來越多的關注。
對于傳統的電子設備如手機、平板電腦等,由于需要集成諸如前置攝像頭、聽筒和紅外感應元件等的器件,所以需要在顯示屏上開槽(notch)或在顯示屏上開孔,以在開槽區域或開孔區域設置這些器件。但是,開槽區域或開孔區域均不用于顯示畫面。
因此,這些電子設備均不是真正意義上的全面屏,并不能在整個屏幕的各個區域均進行顯示,如在攝像頭區域不能顯示畫面。同時,在制備金屬層時會對扇出區的柔性襯底造成過刻蝕,從而影響柔性襯底的彎折性能。
發明內容
基于此,有必要針對上述技術問題提供了一種顯示面板及其制造方法、顯示終端,來有效改善在顯示區內器件的制備過程中,會對扇出區(即彎折區) 的柔性襯底所造成過刻蝕影響,進而提升顯示器件的顯示性能。
本申請實施例中提供了一種顯示面板,所述顯示面板可包括:
柔性襯底,具有顯示區和非顯示區,所述非顯示區包括扇出區;
刻蝕阻擋層,覆蓋所述柔性襯底的上表面;
緩沖層,位于所述顯示區中且覆蓋所述刻蝕阻擋層的上表面;以及
TFT器件層,設置在所述緩沖層之上且位于所述顯示區中;
其中,所述TFT器件層包括用于外接有源區的M3金屬層,所述M3金屬層由M3金屬薄膜刻蝕形成;在所述扇出區中,所述M3金屬薄膜覆蓋所述緩沖層的上表面,以及
所述M3金屬薄膜與所述刻蝕阻擋層的刻蝕選擇比大于等于10。
在一個可選的實施例中,所述柔性襯底包括:
基板;
第一粘附薄膜,粘貼在所述基板的上表面;以及
第一緩沖薄膜,覆蓋所述第一粘附薄膜的上表面;
其中,所述刻蝕阻擋層覆蓋所述第一緩沖薄膜的上表面。
在一個可選的實施例中,所述柔性襯底包括:
基板;
第一粘附薄膜,粘貼在所述基板的上表面;
第一緩沖薄膜,覆蓋所述第一粘附薄膜的上表面;以及
第二粘附薄膜,粘貼在所述第一緩沖薄膜的上表面;
其中,所述刻蝕阻擋層覆蓋所述第二粘附薄膜的上表面。
在一個可選的實施例中,所述M3金屬層為TiAlTi層,所述緩沖層為氧化層。
在一個可選的實施例中,所述刻蝕阻擋層的材質為具有阻水氧能力的材料。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





