[發(fā)明專利]一種用于制造非晶硅薄膜的磨邊裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811295176.9
• 申請(qǐng)日: 2018-11-01
• 公開（公告）號(hào): CN109176216A
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 代恒科;呂永利;楊海忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中山市恒輝自動(dòng)化科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B9/06
• 分類號(hào): B24B9/06;B24B41/00;B24B41/02;B24B47/12;B24B55/12;B24B55/06;B08B1/02
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• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開了一種用于制造非晶硅薄膜的磨邊裝置，包括裝置本體，裝置本體由磨邊室和伸縮移動(dòng)柱組成，磨邊室設(shè)有進(jìn)料口和出料口，磨邊室內(nèi)的傳輸輥驅(qū)動(dòng)連接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，傳輸輥之間設(shè)有打磨電機(jī)，打磨電機(jī)的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器連接打磨棒，打磨電機(jī)固定安裝的滑塊二螺紋連接螺紋桿三，滑塊二下端面固定連接的滑動(dòng)桿滑動(dòng)連接固定桿二，固定桿二內(nèi)的支撐彈簧兩端面固定連接滑塊一和固定桿二，固定桿二下端面安裝的滾輪滾動(dòng)連接磨邊室底面，磨邊室的內(nèi)壁設(shè)有吸頭并通過(guò)抽風(fēng)機(jī)和回收管連接收集箱內(nèi)底部，磨邊室下端面固定安裝伸縮移動(dòng)柱。本發(fā)明的磨邊裝置定位準(zhǔn)確不會(huì)對(duì)硅基板打磨時(shí)造成損壞，對(duì)打磨產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行收集，避免對(duì)操作者健康造成損害。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及非晶硅薄膜制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于制造非晶硅薄膜的磨邊裝置。

背景技術(shù)

非晶硅是硅的同素異形體形式，能夠以薄膜形式沉積在各種基板上，為各種電子應(yīng)用提供某些獨(dú)特的功能。非晶硅被用在大規(guī)模生產(chǎn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)和納米機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)、太陽(yáng)能電池、微晶硅和微非晶硅、甚至對(duì)于各種基板上的滾壓工藝技術(shù)都是有用

的，而非晶硅薄膜是太陽(yáng)能電池核心原材料之一，也稱微晶硅，生產(chǎn)非晶硅薄膜時(shí)通常都是在成膜室對(duì)硅基板進(jìn)行非晶硅成膜，對(duì)非晶硅成膜后的硅基板需要進(jìn)行修正，方便后續(xù)加工，對(duì)硅基板進(jìn)行修正時(shí)，通常是對(duì)硅基板的側(cè)邊進(jìn)行磨邊處理，但是現(xiàn)有的磨邊裝置在對(duì)硅基板進(jìn)行磨邊處理時(shí)，由于定位不準(zhǔn)容易對(duì)硅基板打磨時(shí)造成損壞，且打磨時(shí)直接暴露在室內(nèi)，打磨產(chǎn)生的粉塵碎屑中含有硅，工作人員長(zhǎng)期吸入非晶硅，容易誘發(fā)職業(yè)病，對(duì)操作者的身體健康造成影響。

發(fā)明內(nèi)容

1、要解決的問(wèn)題

針對(duì)現(xiàn)有非晶硅薄膜生產(chǎn)時(shí)得到的成膜后的硅基板進(jìn)行打磨時(shí)，磨邊裝置由于定位不準(zhǔn)容易對(duì)硅基板打磨時(shí)造成損壞，且打磨時(shí)直接暴露在室內(nèi)，打磨產(chǎn)生的粉塵碎屑中含有硅，被人體吸入影響健康問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種用于制造非晶硅薄膜的磨邊裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種用于制造非晶硅薄膜的磨邊裝置，包括裝置本體，所述裝置本體由磨邊室和伸縮移動(dòng)柱組成，所述磨邊室左右端面分別設(shè)有進(jìn)料口和出料口，所述進(jìn)料口和出料口之間均勻設(shè)有傳輸輥，所述傳輸輥的兩端固定安裝驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接磨邊室內(nèi)壁，且延伸出磨邊室，驅(qū)動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器連接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述傳輸輥上固定安裝齒輪，齒輪通過(guò)鏈條傳動(dòng)連接，所述傳輸輥之間設(shè)有打磨電機(jī)，所述打磨電機(jī)的輸出端通過(guò)聯(lián)軸器連接打磨棒，所述打磨電機(jī)固定安裝在滑塊二上，所述滑塊二螺紋連接螺紋桿三，所述螺紋桿三通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接磨邊室內(nèi)壁，且延伸出磨邊室，所述螺紋桿三固定連接把手四，所述滑塊二下端面固定連接滑動(dòng)桿，所述滑動(dòng)桿固定連接滑塊一，滑塊一滑動(dòng)連接中空的固定桿二，所述固定桿二內(nèi)設(shè)有支撐彈簧，所述支撐彈簧兩端面固定連接滑塊一和固定桿二，所述固定桿二下端面安裝滾輪，所述滾輪滾動(dòng)連接磨邊室底部上設(shè)有滑槽，磨邊室的底面為傾斜設(shè)置，且設(shè)有卸渣口，所述磨邊室的內(nèi)壁上均勻鉸接吸頭，所述吸頭通過(guò)抽風(fēng)機(jī)和回收管連接收集箱內(nèi)底部，所述收集箱內(nèi)滑動(dòng)連接抽拉收集抽屜，抽拉收集抽屜上固定安裝推拉把手，所述收集箱內(nèi)壁固定安裝濾袋，收集箱設(shè)有連通到磨邊室外部的泄氣口，泄氣口內(nèi)固定安裝過(guò)濾網(wǎng)，所述磨邊室下端面固定安裝伸縮移動(dòng)柱，通過(guò)在磨邊室經(jīng)過(guò)打磨電機(jī)驅(qū)動(dòng)打磨棒對(duì)硅基板進(jìn)行打磨，將打磨產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行收集，避免非晶硅碎屑外揚(yáng)被操作者吸入，對(duì)身體健康造成危害。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述磨邊室為長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)，且前后端面分別設(shè)有密封門，所述密封門通過(guò)合頁(yè)連接磨邊室，所述密封門上設(shè)有凹形把手，所述密封門為透明結(jié)構(gòu)，透明結(jié)構(gòu)的密封門方便貫穿磨邊室內(nèi)部情況。