[發明專利]多電極電子光學系統

有效

• 申請號: 201811293777.6
• 申請日: 2014-11-14
• 公開（公告）號: CN109637921B
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: M.J-J.維蘭德;W.H.烏爾巴努斯
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02;H01J37/065;H01J37/12;H01J37/16;H01J37/24;H01J37/30;H01J37/317;G21K1/02;G21K5/04
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種適用于帶電粒子光刻系統(10)的帶電粒子束產生器(50)，該帶電粒子束產生器包括：

-帶電粒子源(52)，其用于產生沿著光軸(A)的帶電粒子束(54)；

-準直器電極堆疊(70)，其用于準直該帶電粒子束，其中該電極堆疊沿著光軸跨越準直器高度(Hc)；

-產生器真空腔室(51)，其用于容納帶電粒子源(52)和準直器電極堆疊(70)；

-至少一個真空泵系統(122、123)，其被設置在產生器真空腔室(51)內部離該準直器電極堆疊的外周邊(85)一距離(ΔRp)處，其中至少一個真空泵系統跨越與光軸(A)基本上平行地定向的有效泵送表面(122a、123a)，并且其中該有效泵送表面具有跨越準直器高度(Hc)的至少一部分的表面高度(Hp)，以及

其中準直器堆疊(70)包括三個支撐柱(90)，所述三個支撐柱(90)沿著外準直器周邊延伸跨過三個不同角度柱范圍(ΔΦ1、ΔΦ2、ΔΦ3)，并且其中所述真空泵系統(122、123)的有效泵送表面(122a、123a)跨越不與三個角度柱范圍中的任一個重疊的角度泵范圍(ΔΦp)。

2.根據權利要求1的帶電粒子束產生器(50)，其中真空泵系統包括吸氣器。

3.根據權利要求1的帶電粒子束產生器(50)，其中真空泵系統(122、123)與準直器電極堆疊(70)的外周邊(85)之間的距離(ΔRp)大于準直器電極堆疊中兩個相鄰電極之間的電極間距離(Hd)。

4.根據權利要求1的帶電粒子束產生器(50)，還包括泵支撐結構(124)，該泵支撐結構(124)被布置在產生器真空腔室(51)內部并且被配置以用于借助于可選擇性釋放的連接來承載真空泵系統的泵單元(122、123)。

5.根據權利要求1的帶電粒子束產生器(50)，其中有效泵送表面(122a、123a)的表面高度(Hp)具有最低限度上大約為準直器電極堆疊(70)的直徑的值。

6.根據權利要求1的帶電粒子束產生器(50)，其中真空泵系統包括至少四個吸氣器(122、123)，該至少四個吸氣器(122、123)布置成在垂直于軸向方向(Z)的平面中相互鄰近且與軸向方向(Z)基本上平行，并且在相應的有效泵送表面(122a、123a)沿著準直器高度(Hc)的一部分的情況下延伸。

7.根據權利要求1的帶電粒子束產生器(50)，其中有效泵送表面(122a、123a)所跨越的角度泵范圍(ΔΦp)與限定在兩個支撐柱(90)之間的角度范圍很大程度上重合。

8.一種用于曝露目標(31)的帶電粒子光刻系統(10)，該系統包括：

-根據權利要求1-7中任一項的帶電粒子束產生器(50)，其用于產生帶電粒子束(54)；

-孔陣列(58)；其用于由該帶電粒子束(54)形成多個細束；以及

-細束投射器(66)，其用于將細束投射至目標(31)的表面上。