[發明專利]搬運臺和使用該搬運臺的噴墨裝置

有效

• 申請號: 201811292147.7
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN109760418B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 末益智志;山口明德;井上隆史
• 申請（專利權）人: 松下知識產權經營株式會社
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01;B41J2/07
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

本發明提供抑制了可動部沿著由多個構件構成的基臺上的引導件行進時的振動的搬運臺和使用該搬運臺的噴墨裝置。該搬運臺包括：由多個基臺構成的基臺；能夠分別調整上述多個基臺的高度的高度調整部；配置在上述基臺上且由多個引導件構成的引導件；能夠沿著上述引導件移動的可動部；與上述可動部連接且將基板沿掃描方向搬運的搬運工作臺；利用氣體對上述可動部進行支承的空氣軸承部；以及與上述搬運工作臺連結的基板搬運部，上述多個引導件的重心位置位于上述多個基臺中的體積最大或重量最重的基準構件的正上方，上述基準構件以外的上述基臺的上表面位于上述基準構件的上表面以下。

技術領域

本發明涉及搬運臺和使用該搬運臺的噴墨裝置。尤其是涉及大型搬運臺和使用該大型搬運臺的噴墨裝置。

背景技術

近年來，使用噴墨裝置來制造設備的方法受到關注。噴墨裝置具有進行液滴噴出的多個噴嘴，通過一邊控制噴嘴與印刷對象物的位置關系一邊從噴嘴噴出液滴，從而向印刷對象物涂敷液滴。

作為這種噴墨裝置之一，已知有具備被稱為行式頭的沿印刷對象物的寬度方向并列設置的多個模塊頭(具有多個噴出口的液滴噴出頭)的噴墨裝置。通過將該行式頭沿副掃描方向并列配置，從而能夠在一次搬運工序中向寬度大的印刷對象物一并涂敷墨液。

此外，雖然需要掃描方向的長度，但通過在掃描方向上還搭載多個沿副掃描方向并列設置的行式頭，由此能夠在一次搬運工序的期間向印刷對象物一并涂敷例如顏色不同等的多種墨液。

根據該結構，針對大型的印刷對象物也能夠在一次搬運工序中一并涂敷多種墨液，因此，能夠降低向印刷對象物涂敷墨液的生產節拍，并且，容易使墨液涂敷后的干燥條件等變得均勻，因此，具有例如能夠均勻地控制墨液膜厚等印刷工藝上的優點。

需要說明的是，在上述結構的噴墨裝置中，印刷對象物的行進再現性成為決定噴墨裝置的噴出精度的重要因素之一，因此，在需要進行高精度的涂敷的情況下，就印刷對象物的搬運方法而言，廣泛知曉有利用靜壓軸承一邊支承一邊搬運的結構。

然而，近年來，為了提高生產率，謀求印刷對象物的進一步的大型化。當印刷對象物變大時，搬運距離相應地變長，搭載印刷對象物并沿掃描方向移動的引導件也必然需要變長。因此，產生無法用一個構件進行加工及制作這樣的問題。因此，需要將多個構件拼接來制作引導件。但是，由于接縫部處的高低差和間隙等的影響而產生行進再現性變差這樣的問題。

利用圖11的剖視圖對現有技術進行說明。如圖11所示，在現有技術中，將構成引導件的多個構件的接縫60設成了作為凹形狀61的冕形狀。這樣，在接縫60處不存在凸部。其結果是，在搬運印刷對象物的可動部11移動時，防止空氣軸承部12與凸部的接觸，提供高精度的精密工作臺(例如專利文獻1)。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特許第4346067號公報

然而，存在作為凹形狀61的冕形狀的深度越深則在可動部11行進時越會產生振動這樣的課題。當產生振動時，例如由于行式頭與印刷對象物的角度變化而導致從行式頭向印刷對象物涂敷液滴時的精度變差。需要說明的是，雖能夠通過使凹形狀61的冕形狀變淺來縮小振動，但關于使凹形狀61的冕形狀變淺到何種程度，是由平面度等加工性能來決定的值，并且，難以抑制到使振動完全消失。

此外，即便能夠以使與空氣軸承部對置的引導件精度良好地成為同一平面的方式進行加工，但若搭載引導件的基臺上表面不在同一平面，則在并列引導件時產生高低差，導致行進精度變差。

因此，謀求如下的方法：即便在引導件及支承引導件的基臺由多個構成構件構成的情況下，也進一步減少可動部經由空氣軸承部在引導件上掃描時的振動。

發明內容

即，本發明的課題在于，提供一種抑制了可動部沿著由多個構件構成的基臺上的引導件行進時的振動的搬運臺以及使用該搬運臺的噴墨裝置。