[發(fā)明專利]一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811290540.2
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN111128833B
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王巖
• 申請（專利權(quán)）人: 成都辰顯光電有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L33/00
• 代理公司: 廣東君龍律師事務(wù)所 44470
• 代理人: 丁建春

1.一種微元件的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移裝置包括：

轉(zhuǎn)移基板；

吸附件，數(shù)量為多個(gè)，固定于所述轉(zhuǎn)移基板的至少一表面，用于吸附所述微元件；

活動(dòng)件，數(shù)量為多個(gè)，連接于所述轉(zhuǎn)移基板的所述至少一表面，且每個(gè)所述吸附件均鄰近至少一個(gè)所述活動(dòng)件設(shè)置；

驅(qū)動(dòng)電路，用于獨(dú)立驅(qū)動(dòng)所述活動(dòng)件，使其施力于選定的所述微元件進(jìn)而使所述微元件自所述吸附件脫離或不能被所述吸附件吸附；

其中，所述吸附件高出所述至少一表面第一距離；

所述活動(dòng)件在所述驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)下，至少在第一狀態(tài)、第二狀態(tài)下切換，所述第一狀態(tài)下所述活動(dòng)件高出所述至少一表面第二距離，所述第二狀態(tài)下所述活動(dòng)件高出所述至少一表面第三距離，其中所述第一距離大于所述第二距離，且小于所述第三距離；

其中，所述活動(dòng)件的至少一部分位于所述轉(zhuǎn)移基板和所述微元件之間，在所述第二狀態(tài)下施力于所述微元件鄰近所述轉(zhuǎn)移基板一側(cè)，使所述微元件自所述吸附件脫離或不能被所述吸附件吸附。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，

所述活動(dòng)件為彈性件，所述彈性件一端固定于所述轉(zhuǎn)移基板的所述至少一表面，另一端為自由端且設(shè)置有第一電極，所述轉(zhuǎn)移基板的所述至少一表面對應(yīng)所述第一電極的位置設(shè)有第二電極，所述第一電極和所述第二電極均連接所述驅(qū)動(dòng)電路，在所述驅(qū)動(dòng)電路控制下所述第一電極和所述第二電極帶有屬性相同或相反的電荷，進(jìn)而相互排斥或吸引使得所述彈性件自由端遠(yuǎn)離或靠近所述轉(zhuǎn)移基板，以形成所述彈性件自由端的所述第一狀態(tài)、所述第二狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)電路包括：

第一電荷產(chǎn)生子電路，用于提供產(chǎn)生正電荷或者負(fù)電荷所需第一電壓；

第一開關(guān)，數(shù)量為多個(gè)，一個(gè)所述第一開關(guān)對應(yīng)連接一個(gè)所述第一電極，所述第一開關(guān)包括第一控制端、第一端和第二端，其中，所述第一端與所述第一電荷產(chǎn)生子電路連接，所述第二端與對應(yīng)的所述第一電極連接；

第二電荷產(chǎn)生子電路，用于提供產(chǎn)生正電荷或者負(fù)電荷所需第二電壓；

第二開關(guān)，數(shù)量為多個(gè)，一個(gè)所述第二開關(guān)對應(yīng)連接一個(gè)所述第二電極，所述第二開關(guān)包括第二控制端、第三端和第四端，其中，所述第三端與所述第二電荷產(chǎn)生子電路連接，所述第四端與對應(yīng)的所述第二開關(guān)連接；

開關(guān)控制電路，用于分別連接多個(gè)所述第一開關(guān)的每個(gè)所述第一控制端、和多個(gè)所述第二開關(guān)的每個(gè)所述第二控制端。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，

所述吸附件與對應(yīng)的所述彈性件在所述轉(zhuǎn)移基板所在平面的正投影無交叉。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，

一個(gè)所述吸附件對應(yīng)兩個(gè)所述彈性件，一個(gè)所述吸附件的相對兩側(cè)或者同一側(cè)設(shè)置有兩個(gè)所述彈性件，每個(gè)所述彈性件的自由端可靠近或遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)移基板；或者，

一個(gè)所述吸附件對應(yīng)一個(gè)所述彈性件，所述彈性件的自由端可在所述吸附件的一側(cè)靠近或者遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)移基板。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，

所述彈性件的一端自所述轉(zhuǎn)移基板向與所述轉(zhuǎn)移基板的表面垂直的方向延伸，所述彈性件的自由端自所述一端向與所述轉(zhuǎn)移基板的表面平行的方向延伸。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一電極位于所述自由端的頭部，且所述頭部的寬度大于等于所述自由端除所述頭部外其余部分的寬度。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，

所述轉(zhuǎn)移基板包括與所述彈性件的一端固定連接的第一區(qū)域，所述第一區(qū)域的粗糙度大于所述轉(zhuǎn)移基板除所述第一區(qū)域外其余區(qū)域的粗糙度。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述吸附件包括橡膠，所述橡膠包括聚二甲基硅氧烷。