[發明專利]同步檢測小微發光二極管三維形貌與光電性能的顯微鏡

在審

• 申請號: 201811288675.5
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN109443234A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 張旭輝;許之敏
• 申請（專利權）人: 許之敏
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01R31/26
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 李麗君

1.同步檢測小微發光二極管三維形貌與光電性能的顯微鏡，其特征在于：光源發出的線偏振光經第一二分之一波片和偏振分光棱鏡后分為兩束偏振態垂直的光波；其中一束經過分光棱鏡反射后依次經過第一透鏡、非偏振分光棱鏡和物鏡后平行出射于樣品表面，樣品反射光經過非偏振分光棱鏡反射后被第三透鏡準直為平面波入射相機作為物光束，另一束經偏振分光棱鏡折射的光束為參考光束，此路光穿過四分之一波片經第三反射鏡反射后，再次透過四分之一波片和偏振分光棱鏡，依次經過第二反射鏡反射、第二透鏡會聚、非偏振分光棱鏡透射和第三透鏡準直后入射第一相機，與物光束干涉后產生含有樣品表面信息的干涉條紋經第一相機數字轉化后，傳輸入計算機，進行數字重建從而獲得樣品三維信息。

2.按照權利要求1所述同步檢測小微發光二極管三維形貌與光電性能的顯微鏡，其特征在于：所述樣品臺包括外部激光源，可對樣品進行光致發光測試，樣品臺上有自動探針給被測樣品電極通電進行電學測試，自動探針電流和電壓通過計算機控制電流源進行操作，其結果通過線纜返回計算機進行分析。

3.按照權利要求1所述同步檢測小微發光二極管三維形貌與光電性能的顯微鏡，其特征在于：所述光源由激光器經空間濾波器濾波后由透鏡準直組成，或者由激光器光纖耦合輸出后經透鏡準直至合適光斑大小后輸出。

4.按照權利要求1所述同步檢測小微發光二極管三維形貌與光電性能的顯微鏡，其特征在于：所述四分之一波片的光軸與光路平面呈45度。

5.按照權利要求1所述同步檢測小微發光二極管三維形貌與光電性能的顯微鏡，其特征在于：所述外部激光源波長短于被測芯片發光波長，一般使用紫外光激光器。