[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811287220.1
• 申請(qǐng)日: 2018-10-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111118597B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邸拴虎;袁衛(wèi)華;魏唯;羅才旺;羅臻
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
• 主分類(lèi)號(hào): C30B19/06
• 分類(lèi)號(hào): C30B19/06
• 代理公司: 湖南兆弘專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長(zhǎng)清;徐好

1.一種用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟，包括舟底座(1)、設(shè)于舟底座(1)內(nèi)的舟滑塊(2)、以及與舟底座(1)相連的舟蓋板(3)，其特征在于：所述舟底座(1)底部于左右兩側(cè)設(shè)有供機(jī)械手(5)取放的取放部(11)，兩所述取放部(11)之間設(shè)有支撐部(12)，所述支撐部(12)下方設(shè)有舟托板(4)，所述舟托板(4)頂部設(shè)有下凹槽(41)，所述支撐部(12)底部設(shè)有上凹槽(13)，所述下凹槽(41)與所述上凹槽(13)配合形成內(nèi)控?zé)狁罘胖每?6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟，其特征在于：所述舟托板(4)底部設(shè)有與所述內(nèi)控?zé)狁罘胖每?6)連通的第一通道(42)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟，其特征在于：所述支撐部(12)與所述舟托板(4)之間設(shè)有用于防止兩者左右相對(duì)移動(dòng)的定位結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟，其特征在于：所述定位結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述支撐部(12)上的下凸部(14)以及設(shè)于所述舟托板(4)頂部的下凹部(43)，所述下凸部(14)定位于所述下凹部(43)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟，其特征在于：所述下凹槽(41)位于所述舟托板(4)左右方向的中心，所述上凹槽(13)位于所述舟底座(1)左右方向的中心。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟，其特征在于：所述舟滑塊(2)用來(lái)與拉桿(7)相連的一端設(shè)有拉桿定位孔(21)，所述拉桿定位孔(21)的左側(cè)或右側(cè)設(shè)有用于拉桿(7)進(jìn)出所述拉桿定位孔(21)的第二通道(22)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟，其特征在于：所述拉桿定位孔(21)為腰型孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟，其特征在于：所述舟底座(1)與所述舟蓋板(3)通過(guò)緊固件(8)相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于水平液相外延生長(zhǎng)的石墨舟，其特征在于：所述舟底座(1)與所述舟蓋板(3)通過(guò)緊固件(8)相連。