[發(fā)明專利]無堿玻璃

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811285386.X
• 申請日: 2012-12-25
• 公開（公告）號: CN109437553A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 川口貴弘;三和晉吉
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C3/091
• 分類號: C03C3/091;C03C3/087;C03C3/093
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 任巖

本發(fā)明涉及無堿玻璃，其特征在于，作為玻璃組成，以摩爾％計含有60～70％的SiO₂、9.5～17％的Al₂O₃、0～9％的B₂O₃、0～8％的MgO、2～15％的CaO、0.1～10％的SrO、0.5～4％的BaO，并且(CaO+SrO+BaO)/Al₂O₃的摩爾比為0.6～1.0，所述無堿玻璃實質(zhì)上不含有堿金屬氧化物。

本申請是分案申請，其母案申請的申請?zhí)枺?01280064559.X，申請日：2012.12.25，發(fā)明名稱：無堿玻璃。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及無堿玻璃，特別涉及適合于液晶顯示器(LCD)、有機EL顯示器(OLED)等平板顯示器(FPD)的無堿玻璃。

背景技術(shù)

LCD、OLED等FPD，對于面板的薄型化、輕量化、省電化、高精細化等高性能化的要求越來越高。

高性能顯示器中，作為薄膜晶體管(TFT)，多數(shù)情況下不使用常用的無定形硅(a-Si)，而使用低溫多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon:LTPS)。LTPS由于載流子的遷移率高，因此，與例如使用a-Si的情況相比可以增大其開口度，可以制作更高精細的面板。目前，被期待作為新一代FPD的OLED也使用LTPS。

【現(xiàn)有技術(shù)文獻】

【專利文獻】

【專利文獻1】日本特開2002-29775號公報

【專利文獻2】日本特開2009-286689號公報

【專利文獻3】日本特表2009-525942號公報

【專利文獻4】日本專利第4534282號公報

【專利文獻5】日本專利第4445176號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

作為使用了LTPS的高性能顯示器的基板，玻璃基板被廣泛使用。對于這樣用途的玻璃基板，主要要求以下的特性。

(1)為了防止堿離子擴散至通過熱處理工序而成膜的半導(dǎo)體物質(zhì)中的情況，實質(zhì)上不含有堿金屬氧化物；

(2)為使顯示器輕量化，密度要小；

(3)LTPS的制造工序中，為減少玻璃基板的熱收縮，應(yīng)變點(或退火點)要高；

(4)為使玻璃基板價格低廉，生產(chǎn)率要優(yōu)良，特別是耐失透性、熔融性要優(yōu)良。

(5)為抑制由于玻璃基板的彎曲而引起的問題，比楊氏模量(E/ρ)要高。

近年來，隨著FPD的快速普及，價格競爭也隨之加速了。面板制造者為了追求更高的生產(chǎn)率，在制造多個面板時，采用在大的玻璃基板上加工之后，切割成與最終的畫面相匹配的尺寸的工序(即所謂的“多面獲取”)。如果這樣一次性制造出多個面板，則每個面板的成本自然就降低了。因此，近年來玻璃基板的大型化的需求更高了。

另一方面，隨著顯示器的高精細化，玻璃基板上形成的電路圖案有微細化的傾向。因此，以往不成為問題的微小異物等表面缺陷漸漸成為引起電路斷線或短路的原因。因此，為降低每個面板的成本，缺陷少的玻璃基板成為必須，但是隨著玻璃基板的大型化(或薄型化)，容易產(chǎn)生由玻璃基板引起的問題。