[發明專利]一種電池片石墨舟的輸送線在審
| 申請號: | 201811284292.0 | 申請日: | 2018-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN111128818A | 公開(公告)日: | 2020-05-08 |
| 發明(設計)人: | 卓祖亮;宋敏;魯丹 | 申請(專利權)人: | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 101111 北京市通*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 電池 石墨 輸送 | ||
1.一種電池片石墨舟的輸送線,其特征在于,包括以下步驟:
1)此種實用新型傳送機構包括鋁型材架(1)、電機傳送組件(2)、絲杠傳動機構(3)、檢測組件(4)、拖鏈組件(5)、導軌組件(6)、減速機構(7)和定位機構(8);
2)當桁架機械手檢測到位后,電機傳送組件(2)動作,使絲桿傳動機構(3)帶動定位機構(8)運動;
3)當檢測組件(4),檢測到位后,伺服電機停止,石墨舟到位;
4)傳動的原理就是通過伺服馬達的帶動,絲桿做高速運動,通過螺母來帶動固定在螺母上面的機械;
5)滾珠絲桿傳動機構是在絲桿和螺母之間滾珠作為中間元件,使絲桿與螺母的滑動摩擦傳動變為滾動摩擦傳動。
2.根據權利要求1所述的石墨舟輸送線,其特征在于,定位精度為0.6mm,保證桁架機械手的抓取。
3.根據權利要求1所述的石墨舟輸送線,其特征在于,驅動形式為伺服電機驅動,傳動形式為絲杠傳動。
4.根據權利要求1所述的石墨舟輸送線,其特征在于,支架材質為碳鋼噴漆、鋁型材,材料選用SUS304不銹鋼、鋁合金6063以及型材等。
5.根據權利要求1所述的石墨舟輸送線,其特征在于,檢測組件包含插形傳感器和機械死擋。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





