[發明專利]一種無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置

在審

• 申請號: 201811282839.3
• 申請日: 2018-10-31
• 公開（公告）號: CN109234810A
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發明（設計）人: 陳澤斌;張潔;廖弘基;陳華榮
• 申請（專利權）人: 福建北電新材料科技有限公司
• 主分類號: C30B29/36
• 分類號: C30B29/36;C30B23/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置包括籽晶盒(1)和坩堝(2)；所述坩堝(2)內部設置有架層(8)；所述架層(8)用于放置籽晶盒(1)；所述籽晶盒(1)采用圓柱形狀；所述籽晶盒(1)的頂部設有環形結構的蓋子(4)；所述籽晶盒(1)側壁上設有均勻排布的拱門形的小孔(5)；所述籽晶盒(1)底部設有大圓孔(9)；所述籽晶盒(1)底部連接有裙帶(6)。

2.根據權利要求1所述的無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述坩堝(2)上部內徑為150mm～170mm，下部的內徑為130mm～150mm。

3.根據權利要求1所述的無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述籽晶盒(1)的材料選自金屬鉬和石墨中的一種。

4.根據權利要求3所述的無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述籽晶盒(1)的材料為石墨。

5.根據權利要求4所述的無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述籽晶盒(1)的表面鍍有碳化鉭、碳化鈮或碳化鎢中的任一種。

6.根據權利要求1所述的無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述籽晶盒(1)的尺寸為：直徑140mm～160mm，高15mm～25mm，壁厚3mm～8mm。

7.根據權利要求1所述的無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述小孔(5)在籽晶盒側壁上呈兩層排布。

8.根據權利要求1所述的無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述大圓孔(9)上放置籽晶(3)。

9.根據權利要求1所述的無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述裙帶(6)為中空結構。

10.根據權利要求1所述的無需粘結籽晶的碳化硅單晶生長裝置，其特征在于，所述裙帶(6)上設有與裙帶高度相同的半圓形小孔。