[發明專利]一種直熱式固體金屬離子源

有效

• 申請號: 201811276370.2
• 申請日: 2018-10-30
• 公開（公告）號: CN111128650B
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: 張賽;彭立波;易文杰;袁衛華;金則軍;王迪平
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01J37/08
• 分類號: H01J37/08;H01J37/24;H01J37/317
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;戴玲

1.一種直熱式固體金屬離子源，其特征在于：包括離子源弧室(1)、燈絲部件(2)和含鋁部件(3)，所述燈絲部件(2)包括燈絲端面(21)、螺旋側面(22)和導電部(23)，所述燈絲端面(21)由單根燈絲徑向盤旋形成，所述螺旋側面(22)由單根燈絲軸向螺旋形成，所述導電部(23)與燈絲端面(21)和螺旋側面(22)連接，所述含鋁部件(3)包括相互連接的第一環體(31)和第二環體(32)，所述離子源弧室(1)一端具有安裝孔(101)，所述第二環體(32)裝于安裝孔(101)內，所述第一環體(31)伸入離子源弧室(1)內，所述燈絲端面(21)和螺旋側面(22)設于第一環體(31)內，所述導電部(23)穿出第二環體(32)位于離子源弧室(1)外，所述燈絲端面(21)和螺旋側面(22)由同一根燈絲螺旋形成，所述燈絲的兩端向遠離燈絲端面(21)一端平行延伸，并構成所述導電部(23)。

2.根據權利要求1所述的直熱式固體金屬離子源，其特征在于：所述離子源弧室(1)由鉬材料制作而成。

3.根據權利要求1或2所述的直熱式固體金屬離子源，其特征在于：所述離子源弧室(1)由弧室引出頂板(11)、弧室底板(12)、兩個弧室端板(13)和兩個弧室側板(14)構成，所述安裝孔(101)設于其中一個弧室端板(13)上。

4.根據權利要求3所述的直熱式固體金屬離子源，其特征在于：所述弧室端板(13)內側設有兩個卡槽(131)，外側設有兩個定位槽(132)，所述弧室側板(14)兩端卡于卡槽(131)內，所述弧室引出頂板(11)兩端的內側分別設有兩個圓柱銷(4)，所述弧室底板(12)兩端對應設有兩個圓柱銷(4)，各圓柱銷(4)卡于各定位槽(132)內。

5.根據權利要求4所述的直熱式固體金屬離子源，其特征在于：所述弧室引出頂板(11)的四角分別設有拉緊槽(111)。

6.根據權利要求4所述的直熱式固體金屬離子源，其特征在于：所述弧室引出頂板(11)上設有離子引出孔(102)，所述弧室底板(12)上設有離子源進氣孔(103)；另一個弧室端板(13)上設有離子源的反射極安裝孔(104)。

7.根據權利要求1或2所述的直熱式固體金屬離子源，其特征在于：所述第一環體(31)的直徑大于第二環體(32)的直徑。