[發明專利]一種震聲傳感器在審
| 申請號： | 201811276296.4 | 申請日： | 2018-10-30 |
| 公開（公告）號： | CN109489802A | 公開（公告）日： | 2019-03-19 |
| 發明（設計）人： | 甘立軍 | 申請（專利權）人： | 佛山市合宏泰業科技有限公司 |
| 主分類號： | G01H11/00 | 分類號： | G01H11/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英專利事務所 44242 | 代理人： | 馮筠 |
| 地址： | 528100 廣東省佛山市三水*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 結構層 單晶硅 多層結構 聲傳感器 相對設置 組結構 基底 兩組 波形結構層 電信號輸出 基底上表面 配重質量體 低頻信號 接收能力 聲波轉變 相對位移 依次設置 聲波 電極層 下表面 震動波 直線形 傳感器 殼體 刻蝕 支架 體內 矛盾 | ||
1.一種震聲傳感器，其特征在于，包括：殼體及依次設置在殼體內的配重質量體、支架、單晶硅基底；
所述單晶硅基底的下表面進行刻蝕得到的；
所述單晶硅基底上表面為波形多層結構，所述波形多層結構中至少一組結構層在外力的作用下能夠發生相對位移；
所述波形結構層表面的電極層；
所述震聲傳感器用于將震動波轉為聲波，再由聲波轉變為電信號輸出。
2.如權利要求1所述的震聲傳感器，其特征在于：所述配重質量體通過支架支撐。
3.如權利要求1所述的震聲傳感器，其特征在于：所述殼體包括上殼體和下殼體，所述上殼體和下殼體通過螺紋連接，且螺紋連接處設有密封墊。
4.如權利要求3所述的震聲傳感器，其特征在于：所述密封墊材質為氟橡膠。
5.如權利要求3所述的震聲傳感器，其特征在于：所述上殼體和下殼體材質為鋁合金。
6.如權利要求1所述的震聲傳感器，其特征在于：所述配重質量體為圓柱形鋰電池。
7.如權利要求1所述的震聲傳感器，其特征在于：所述支架由PVC組成。
8.如權利要求1所述的震聲傳感器，其特征在于：所述波形多層結構包括兩組相對設置的結構層。
9.如權利要求1所述的震聲傳感器，其特征在于：所述兩組結構層中的一組結構層包括相對設置的第一結構層和第二結構層，所述第一結構層為波形，所述第二結構層的截面為直線形。
10.如權利要求1所述的震聲傳感器，其特征在于：所述單晶硅基底采用濕法刻蝕工藝進行選擇性刻蝕。
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