[發(fā)明專(zhuān)利]基板烘烤機(jī)臺(tái)的熱風(fēng)流向控制機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811275965.6
• 申請(qǐng)日: 2018-10-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111090182A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李東明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 李東明
• 主分類(lèi)號(hào): G02F1/13
• 分類(lèi)號(hào): G02F1/13
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;李林

本發(fā)明是一種基板烘烤機(jī)臺(tái)的熱風(fēng)流向控制機(jī)構(gòu)，其能控制腔體內(nèi)的熱氣全面性散發(fā)，以加強(qiáng)基板的均勻受熱，有效降低不合格率。其主要系于烘烤腔體內(nèi)設(shè)有熱風(fēng)裝置，該熱風(fēng)裝置吹出的熱風(fēng)由吸風(fēng)單元吸收排出，使腔體端邊較低溫的部分也能均勻受熱，并憑借熱風(fēng)在腔體內(nèi)進(jìn)行熱對(duì)流，以穩(wěn)定腔體內(nèi)的溫度，使基板可維持在均溫的環(huán)境，達(dá)到較好的基板烘烤品質(zhì)，實(shí)為一創(chuàng)新的基板烘烤機(jī)臺(tái)的熱風(fēng)流向控制機(jī)構(gòu)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基板烘烤機(jī)臺(tái)的熱風(fēng)流向控制機(jī)構(gòu)，其系于腔體內(nèi)設(shè)有熱風(fēng)裝置，并憑借熱風(fēng)在腔體內(nèi)進(jìn)行熱對(duì)流，使基板全面性均勻受熱。

背景技術(shù)

玻璃基板是液晶顯示裝置(TFT-LCD)的主要制程原料，就是俗稱(chēng)的母玻璃或素玻璃，是一種高精密透明的電子零件，玻璃在液晶顯示裝置(TFT-LCD)產(chǎn)業(yè)中扮演的角色好比是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的晶圓，因此液晶顯示裝置(TFT-LCD)產(chǎn)業(yè)對(duì)玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。

其次，液晶顯示裝置(TFT-LCD)的制程是分別利用兩塊無(wú)堿玻璃基板，于無(wú)堿玻璃基板表面構(gòu)裝彩色濾色片與IC電路，并將玻璃基板表面經(jīng)過(guò)干式蝕刻，將紅、藍(lán)、綠三原色與黑色以微細(xì)的結(jié)構(gòu)建置于玻璃表面，成為彩色濾色片，IC驅(qū)動(dòng)電路則利用半導(dǎo)體制程，再將CMOS電路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能系做為彩色濾色片與IC驅(qū)動(dòng)電路的承載材料，而液晶顯示裝置(TFT-LCD)制程需要真空蒸鍍與蝕刻，所以玻璃基板，必須要能忍受強(qiáng)酸強(qiáng)堿的腐蝕、高溫的制程環(huán)境，并且必須具備非常精密的表面平整度與平面起伏度。

因此，玻璃基板在制造過(guò)程中的每個(gè)流程都非常精細(xì)，其中，該玻璃基板為相當(dāng)精密的電子零件，絕對(duì)不容許玻璃基板上有任何的雜質(zhì)、損傷或刮傷。當(dāng)基板30進(jìn)行烘烤時(shí)，請(qǐng)參閱圖8所示，系將該基板30放置在腔體3內(nèi)，一般都是經(jīng)由基板30下方的熱板31進(jìn)行加熱，再憑借熱板31的熱度使基板30表面的化學(xué)物質(zhì)揮發(fā)，在此過(guò)程中，其溫度高達(dá)約攝氏70～150℃，且熱板31的熱源通常來(lái)自于底部的加熱器311，而該加熱器311則設(shè)置在熱板31下方，使熱板31中央、環(huán)邊或端邊能盡量保持均衡的溫度，然而，盡管熱板31已經(jīng)分區(qū)域來(lái)調(diào)整加熱的溫度，卻還是無(wú)法在烘烤過(guò)程中保持均溫，加上每一相鄰區(qū)域的溫度會(huì)互相干擾，使得烘烤效果不佳，而影響基板30生產(chǎn)的品質(zhì)，尤其該基板30的端邊301或局部，容易產(chǎn)生翹起或隆起，常導(dǎo)致該翹起或隆起的部分無(wú)法受熱，因而造成基板30的不良。

有鑒于此，發(fā)明人特別研發(fā)一種控制熱風(fēng)流向機(jī)構(gòu)，其系利用熱風(fēng)產(chǎn)生熱對(duì)流，并控制其流向，使腔體不僅能均勻充滿熱度，以烘烤基板，并改善腔體端邊溫度不足的缺失，加強(qiáng)基板翹起或隆起處的受熱，以達(dá)到基板的全面性均勻受熱，并補(bǔ)足熱板使用上的缺點(diǎn)，進(jìn)一步降低烘烤上的不合格率，而為一理想基板烘烤機(jī)臺(tái)的熱風(fēng)流向控制機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明涉及一種基板烘烤機(jī)臺(tái)的熱風(fēng)流向控制機(jī)構(gòu)，其是一種用于基板烘烤機(jī)臺(tái)的熱風(fēng)機(jī)構(gòu)，其利用熱風(fēng)裝置于腔體內(nèi)逐漸加熱，再由吸風(fēng)單元將熱風(fēng)排出，以產(chǎn)生腔體內(nèi)的熱對(duì)流，以將基板均勻加熱，有效降低不合格率。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種基板烘烤機(jī)臺(tái)的熱風(fēng)流向控制機(jī)構(gòu)，其主要由一底座、控制器、腔體、熱風(fēng)裝置及上蓋所組成，該底座的側(cè)邊設(shè)有一控制器，而在底座上方放置腔體，并在該腔體內(nèi)具有熱風(fēng)裝置，并利用上蓋封閉該腔體，其特征在于：該熱風(fēng)裝置設(shè)置在腔體的內(nèi)側(cè)邊，而復(fù)數(shù)個(gè)吸風(fēng)單元?jiǎng)t設(shè)置在送風(fēng)單元的對(duì)應(yīng)側(cè)，憑借熱風(fēng)裝置的送風(fēng)配合吸風(fēng)單元的排風(fēng)，促使熱風(fēng)產(chǎn)生對(duì)流，使腔體內(nèi)及其端邊均勻充滿熱風(fēng)。

一種基板烘烤機(jī)臺(tái)的熱風(fēng)流向控制機(jī)構(gòu)，其主要由一底座、控制器、腔體、熱風(fēng)裝置及上蓋所組成，該底座的側(cè)邊設(shè)有一控制器，而在底座上方放置腔體，并在該腔體內(nèi)具有熱風(fēng)裝置，并利用上蓋封閉該腔體，其特征在于：該熱風(fēng)裝置設(shè)置在上蓋內(nèi)側(cè)，使熱風(fēng)往下吹拂，而復(fù)數(shù)個(gè)吸風(fēng)單元?jiǎng)t設(shè)置在腔體的底板的四周邊，憑借熱風(fēng)裝置的送風(fēng)配合吸風(fēng)單元的排風(fēng)，促使熱風(fēng)產(chǎn)生對(duì)流，使腔體內(nèi)及其端邊均勻充滿熱風(fēng)。