[發明專利]高靈敏度傳感器及其制備方法有效
| 申請號： | 201811270252.0 | 申請日： | 2018-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN109489843B | 公開（公告）日： | 2020-03-24 |
| 發明（設計）人： | 劉婕妤;鄒楊;高超;周杰;胡博豪;劉炎;孫成亮 | 申請（專利權）人： | 武漢大學 |
| 主分類號： | G01K5/28 | 分類號： | G01K5/28;G01K11/26 |
| 代理公司： | 武漢科皓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 俞琳娟 |
| 地址： | 430072 湖*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靈敏度 傳感器 及其 制備 方法 | ||
1.一種高靈敏度傳感器，其特征在于，包括：
襯底，內部具有密閉的空腔，該空腔內充有惰性氣體，且氣壓小于1atm；和
諧振部，形成在所述襯底上，包括：底電極、壓電中間層、和上電極或叉指電極，
其中，諧振部為薄膜體聲波諧振器結構、或高頻聲表面波諧振器結構、或環形諧振器結構，
當環境溫度發生變化時，所述空腔內部的惰性氣體的體積會隨溫度而變化，從而引起所述諧振部的所述底電極和所述壓電中間層的應變形變，使所述諧振部的頻率發生改變，通過檢測頻率的改變實現靈敏的傳感。
2.根據權利要求1所述的高靈敏度傳感器，其特征在于：
其中，所述襯底為單晶硅材料。
3.根據權利要求1所述的高靈敏度傳感器，其特征在于：
其中，所述底電極、所述上電極、所述叉指電極均為金屬導電薄膜。
4.根據權利要求3所述的高靈敏度傳感器，其特征在于：
其中，所述底電極、所述上電極、所述叉指電極為Mo或Pt導電薄膜。
5.根據權利要求1所述的高靈敏度傳感器，其特征在于：
其中，所述壓電中間層為ALN薄膜。
6.一種高靈敏度傳感器的制備方法，其特征在于：
制備如權利要求1至5中任意一項所述的高靈敏度傳感器。
7.根據權利要求6所述的高靈敏度傳感器的制備方法，其特征在于：
其中，襯底內的空腔是由兩層襯底材料在惰性氣體環境下進行鍵合所形成。
8.根據權利要求6所述的高靈敏度傳感器的制備方法，其特征在于：
其中，在諧振部的制備過程中，分別對底電極、壓電中間層和上電極進行圖案化。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于武漢大學，未經武漢大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201811270252.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種用于熱力管道監控系統的溫度測量裝置
- 下一篇：溫度感測電路
