[發明專利]熱硬化性組合物、硬化膜及彩色濾光片

有效

• 申請號: 201811267543.4
• 申請日: 2018-10-29
• 公開（公告）號: CN110194878B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 木村佑希
• 申請（專利權）人: 捷恩智株式會社
• 主分類號: C08L35/00
• 分類號: C08L35/00;C08L45/00;C08K13/02;C08K5/1515;C08K5/09;C08K5/5435;C08F222/40;C08F222/06;C08F232/08;C08F8/14;C08J5/18;G03F7/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

本發明涉及一種熱硬化性組合物、硬化膜及彩色濾光片，所述熱硬化性組合物包含改性聚合物(A)、具有兩個以上的環氧基的化合物(B)及溶劑(C)，所述改性聚合物(A)是利用具有兩個以上的羥基的化合物將作為來自下述式(1)所表示的單體(a)及單體(a)以外的單體(b)的反應產物的共聚物的源自單體(a)的酸酐部位熱開環而成。由本發明的熱硬化性組合物形成的硬化膜高度滿足耐熱性、透明性、平坦性、襯底密接性的各特性，且可適宜地用于電子零件中。在式(1)中，R¹及R²獨立地為氫、碳數1～3的烷基或苯基。

技術領域

本發明涉及一種可用于形成電子零件中的絕緣材料、半導體裝置中的鈍化膜、緩沖涂膜、層間絕緣膜、平坦化膜、液晶顯示元件中的層間絕緣膜、彩色濾光片(colorfilter)用保護膜等的熱硬化性組合物、由所述熱硬化性組合物形成的透明膜及具有所述膜的電子零件。

背景技術

在液晶顯示元件等元件的制造步驟中，包括形成具有各種功能的有機薄膜的步驟。例如為黑色矩陣抗蝕劑的成膜/圖案化/熱處理步驟、彩色濾光片抗蝕劑的成膜/圖案化/熱處理步驟、彩色濾光片保護膜的成膜/圖案化/熱處理步驟、氧化銦錫(Indium TinOxide，ITO)導電膜的成膜步驟、ITO圖案化用的光致抗蝕劑成膜/圖案化/濕式蝕刻/抗蝕劑剝離步驟、ITO退火步驟、取向膜的成膜/熱處理/摩擦(偏光曝光)步驟等。在這些各種步驟中，對于元件而言，有機會接觸于有機溶劑、酸、堿溶液等各種化學品，另外，在通過濺射來形成電極時，也存在表面局部地暴露于高溫下的情況。因此，有時出于防止各種元件的表面的劣化、損傷、變質的目的而設置表面保護膜。對這些保護膜要求可耐受如上所述的制造步驟中的各種處理的各特性。具體而言，要求耐熱性、耐溶劑性/耐酸性/耐堿性等耐化學品性、耐水性、對玻璃等襯底基板的密接性、透明性、耐劃傷性、涂布性、平坦性、耐光性等。特別是，隨著對顯示元件所要求的可靠性的要求特性提高，對顯示元件構件所要求的耐熱性、具體而言熱處理時的逸出氣體的減低受到重視。其原因在于：在形成如上所述的各種有機薄膜時，始終進行由熱處理所引起的薄膜的交聯反應/致密化，因此貫通步驟也多次對元件施加熱；因此，若使用產生大量逸出氣體的保護膜，則因來自下層的逸出氣體而上層的薄膜形成受到影響，結果引起顯示品質的降低、可靠性的降低。

迄今為止，為了提供具有高的耐熱性的保護膜，而提出將聚酰亞胺材料用作保護膜(專利文獻1)。另外，也提出有以高的耐熱性與透明性為特征的使用硅氧烷材料的保護膜(專利文獻2、專利文獻3)?；蛘?，提出有使用環氧樹脂與三聚氰胺樹脂的保護膜、或者使用丙烯酸樹脂或聚酯樹脂的保護膜(專利文獻4、專利文獻5、專利文獻6)。

然而，使用聚酰亞胺材料的保護膜中，為了制備聚酰亞胺或聚酰亞胺前體(聚酰胺酸)溶液，需要使用N-甲基吡咯烷酮或γ-丁內酯等具有強的溶解力的所謂的聚酰亞胺溶媒，且存在會溶解襯底的有機薄膜的問題。特別是在用作彩色濾光片用的保護膜的情況下，所述問題成為大問題。另外，在聚酰亞胺中，由于通過電荷移動相互作用(電荷轉移(ChargeTransfer，CT)相互作用)而導致光吸收帶的邊緣延伸至可見光區域，故也存在著色的問題。另一方面，在使用硅氧烷材料(溶膠凝膠材料)的情況下，耐熱性與透明性充分，但由于硅烷醇基的反應完結所需要的溫度也成為300℃以上，故也存在導致襯底的有機薄膜的劣化的問題或因熱硬化時的硬化收縮而在薄膜中產生裂紋(龜裂)的問題。此外，也存在硅氧烷材料的-Si-O-Si-鍵因堿溶液而容易水解的難點。另外，在使用環氧樹脂與三聚氰胺樹脂的材料的情況下，雖然在使用溶媒或熱處理溫度方面不存在問題，但耐熱性并不充分，而且也產生黃變的問題。在使用丙烯酸系材料或聚酯樹脂的情況下，作為基本骨架的丙烯酸部位/聚酯部位的耐熱性也并不充分，并產生逸出氣體的問題。

根據所述狀況，謀求一種使高的耐熱性與其他各特性、特別是對襯底基板的密接性、平坦性、透明性并存的材料。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開昭62-163016