[發明專利]芯片條顯微鏡檢驗夾具

有效

• 申請號: 201811266522.0
• 申請日: 2018-10-29
• 公開（公告）號: CN109444165B
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 彭海濤
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 高欣

本發明提供了一種芯片條顯微鏡檢驗夾具，芯片檢驗技術領域，包括夾具體和夾緊體，夾具體用于使夾持的芯片條與顯微鏡的檢驗臺保持一定的距離，夾具體具有用于與所述顯微鏡的檢驗臺接觸的支撐平面；夾緊體設置于夾具體上，用于固定待檢測的芯片條。本發明提供的芯片條顯微鏡檢驗夾具，使用時，將芯片條固定到夾緊體上，芯片條的腔面朝上，與顯微鏡頭相對，夾緊體連接到夾具體上，避免芯片條的腔面與其他物體接觸，防止對芯片條的腔面造成損傷和沾污，進而更好的對芯片條進行顯微鏡檢驗，避免后續工藝的浪費。

技術領域

本發明屬于芯片檢驗技術領域，更具體地說，是涉及一種半導體激光器芯片腔面檢驗的芯片條顯微鏡檢驗夾具。

背景技術

隨著半導體激光器芯片輸出功率的不斷提高，對其可靠性的要求也逐漸提高。激光器芯片腔面的形貌對可靠性提升起著至關重要的作用，腔面的形貌包括腔面解理紋理、機械損傷、異物污染或腔面膜不均勻形成的彩條。這些腔面形貌需要早期發現，待載體燒結完成后再進行腔面檢驗，不僅不能及時發現問題，還可能引發載體等物料和燒結工時的浪費，因此鍍膜后進行裸芯片條的腔面檢驗尤為重要。腔面檢驗時芯片條需要豎立放置，必須避免在顯微鏡檢驗過程中前后端腔面接觸任何物體進而引入沾污等情況，影響成品率以及后續燒結工藝，進而影響芯片條的可靠性。

發明內容

本發明的目的在于提供一種芯片條顯微鏡檢驗夾具，以避免芯片檢驗過程中腔面造成污染的問題。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案是：提供一種芯片條顯微鏡檢驗夾具，包括：

夾具體，用于使夾持的芯片條與顯微鏡的檢驗臺保持一定的距離，所述夾具體具有用于與所述顯微鏡的檢驗臺接觸的支撐平面；

夾緊體，設置于所述夾具體上，用于夾持待檢測的芯片條。；

進一步地，所述夾具還包括金屬絲彈簧，設于所述夾緊體遠離所述夾具體的一側，用于將芯片條夾持到所述夾緊體上。

進一步地，所述夾具體為長條塊，其橫斷面為矩形結構，所述夾具體沿其長度方向設有長條插槽，所述長條插槽的兩個內壁均與所述夾具體相對的兩個長條面平行，所述夾緊體的另一側夾持在所述長條插槽內。

進一步地，所述夾具體其中的一個長條面設有穿過所述長條插槽的一個內壁用于抵頂所述夾緊體的鎖緊螺釘，另一個所述長條面為支撐平面，用于與所述顯微鏡的檢驗臺接觸。

進一步地，所述長條插槽自所述夾具體長度方向的一端向所述夾具體另一端延伸，且其長度小于所述夾具體的長度。

進一步地，所述長條插槽的長度與所述夾具體的長度相同。

進一步地，所述夾緊體的結構為長條薄片，其長度方向相對的兩個側面，用于插入所述長條插槽的側面且沿該側面長度方向設有設有長條卡槽，另一個側面且沿該側面長度方向設有設有多個用于定位芯片條的凸塊；

所述夾緊體相對的兩個表面，其中的一個表面設有多個與所述長條卡槽垂直且連通的斜槽，所述斜槽的數量與所述凸塊的數量相同且一一對應，所述斜槽延伸并穿過所述凸塊，所述凸塊上與所述長條卡槽相對的一側面設有與所述斜槽垂直且連通的凹槽；

所述金屬絲彈簧為折彎件，包括沿所述長條卡槽設置的橫直部、沿所述斜槽設置的豎直部和沿所述凹槽設置的卡緊彎曲部。

進一步地，所述凸塊的兩個表面分別與所述夾緊體相對的兩個大面平齊。

進一步地，所述夾緊體的厚度為2-3mm。

進一步地，所述夾具體和所述夾緊體均為金屬制件。