[發(fā)明專利]光譜測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811266516.5
• 申請(qǐng)日: 2018-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN109799194B
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 比約恩·哈斯;約阿希姆·博勒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 恩德萊斯和豪瑟爾分析儀表兩合公司
• 主分類號(hào): G01N21/25
• 分類號(hào): G01N21/25
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 蔡石蒙;車文

1.一種用于過程自動(dòng)化系統(tǒng)的測(cè)量點(diǎn)的光譜測(cè)量裝置(1)，所述光譜測(cè)量裝置(1)包括：

-寬帶光源(2)，所述寬帶光源(2)用于通過入口狹縫光圈(7)將光輻射到待測(cè)的樣品(9)，其中所述光的光束形成照射平面(x-y)；

-限光器(5)，所述限光器(5)將所述光限制為與所述照射平面(x-y)成90°的角度，所述限光器將所述光限制于z軸上，由此在該角度下產(chǎn)生不同量的光；

-色散元件(4)，所述色散元件(4)用于根據(jù)光的波長(zhǎng)分離光；和

-檢測(cè)器(3)，所述檢測(cè)器(3)用于接收根據(jù)光的波長(zhǎng)分離的光，其中所述光源(2)將所述光通過所述樣品(9)輻射到所述入口狹縫光圈(7)、所述限光器(5)和所述色散元件(4)，并且所述光照射到所述檢測(cè)器(3)，

其中所述檢測(cè)器(3)被設(shè)計(jì)為二維檢測(cè)器，并且被定向成使得在90°的所述角度下，能夠接收光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述入口狹縫光圈(7)包括所述限光器(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述限光器(5)是圓錐形的。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述限光器(5)是階梯狀的。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述限光器(5)布置在光源(2)與色散元件(4)之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中一項(xiàng)所述的光譜測(cè)量裝置(1)，包括至少一個(gè)成像系統(tǒng)(8a、8b)，所述至少一個(gè)成像系統(tǒng)(8a、8b)用于在所述色散元件(4)的方向上傳導(dǎo)來(lái)自所述光源(2)的光和/或在所述檢測(cè)器(3)的方向上傳導(dǎo)來(lái)自所述色散元件(4)的光。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述至少一個(gè)成像系統(tǒng)(8a、8b)包括凹面鏡。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-5中一項(xiàng)所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述色散元件(4)包括光柵。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述限光器布置在光源(2)與一個(gè)成像系統(tǒng)(8a)之間，并且其中所述成像系統(tǒng)(8a)將所述光從所述光源(2)傳導(dǎo)到所述色散元件(4)。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述限光器(5)被設(shè)計(jì)為光闌。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述光闌具有梳狀設(shè)計(jì)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1-5中一項(xiàng)所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述限光器(5)被設(shè)計(jì)成使得與所述照射平面(x-y)成90°的光是有限的，使得在該角度下，不斷產(chǎn)生不同量的光。

13.根據(jù)權(quán)利要求1-5中一項(xiàng)所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述測(cè)量裝置(1)包括測(cè)量路徑(ME)和參考路徑(RE)，其中來(lái)自所述光源(2)的光能夠經(jīng)由所述測(cè)量路徑(ME)和所述參考路徑(RE)傳導(dǎo)，其中所述參考路徑(RE)路過所述樣品(9)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述檢測(cè)器(3)上的、與所述照射平面(x-y)成90°的通過所述限光器(5)的所述參考路徑(RE)的光在空間上與所述測(cè)量路徑(ME)的光分離開來(lái)。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光譜測(cè)量裝置(1)，其中所述入口狹縫光圈(7)包括所述限光器(5)，并且所述參考路徑(RE)的光經(jīng)由光纖耦合到所述限光器(5)。