[發明專利]一種提高晶硅雙面太陽電池的背鋁柵線對準精度的方法

有效

• 申請號: 201811266057.0
• 申請日: 2018-10-29
• 公開（公告）號: CN109585351B
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 錢洪強;張樹德;彭嘉琪;魏青竹;倪志春
• 申請（專利權）人: 蘇州騰暉光伏技術有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 孫仿衛;李萍

1.一種提高多晶硅雙面太陽電池的背鋁柵線對準精度的方法，其特征在于：所述方法包括如下步驟：采用酸性溶液體系對硅片進行刻蝕，所述酸性溶液體系中包括體積比例為1:1~3的氫氟酸和硝酸；通過輸送裝置承載硅片，并將硅片運送至對準裝置下方，將硅片對準后送入印刷設備；

其中，所述對準裝置包括主光源、設于所述主光源旁側的輔助光源及用于獲取硅片表面圖像的攝像頭，所述輸送裝置包括用于承載硅片的工作臺，所述工作臺位于對準裝置之下并可自所述對準裝置下方經過；當硅片被運送至所述對準裝置下方時，所述主光源位于硅片的正上方并正對硅片，所述輔助光源位于硅片的側上方，通過所述工作臺承載硅片，根據捕捉到的激光標記點的位置，將硅片對準后，工作臺將硅片送入印刷設備；

所述輸送裝置還包括能夠轉動的旋轉機構，所述工作臺設置于所述旋轉機構上而由所述旋轉機構帶動轉動，當所述工作臺上的硅片經所述攝像頭拍攝后，所述旋轉機構轉動使得硅片隨工作臺進入下一工位，由設于下一工位的印刷設備在硅片上印刷背鋁柵線。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述酸性溶液體系還包括添加劑。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于：所述添加劑為硅烷偶聯劑、檸檬酸、聚乙烯醇、酒石酸中一種或幾種的混合液。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：主光源照射到硅片上的光束與輔助光源照射到硅片上的光束之間形成大于零小于90度的夾角。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述輔助光源為可見光源或紅外光源。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述輔助光源的數量為一或多個，并設于所述主光源的旁側。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述主光源設于所述攝像頭的旁側。

8.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述硅片為多晶硅片。