[發(fā)明專利]基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)模塊、系統(tǒng)及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811260592.5
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109444782A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姜萬順;梁安慧;何大坤;逄春暉
• 申請（專利權(quán)）人: 中電科儀器儀表有限公司
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00;H03K17/965
• 代理公司: 濟南圣達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 37221
• 代理人: 李琳

1.一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)模塊，其特征是：包括兩個對稱分布的MEMS開關(guān)單元，所述MEMS開關(guān)單元包括至少四個靜觸點端口，即開路端口、連接端口、短路端口和負載端口，以及一個動觸點端口，兩個MEMS開關(guān)單元的連接端口之間通過傳輸線直接連接，通過切換MEMS開關(guān)單元的動觸點與各靜觸點的連接邏輯狀態(tài)，實現(xiàn)各種反射狀態(tài)和直通傳輸態(tài)的切換。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)模塊，其特征是：所述負載端口通過電阻接地。

3.如權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)模塊，其特征是：所述短路端口直接接地。

4.如權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)模塊，其特征是：所述開路端口開路。

5.如權(quán)利要求1所述的一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)模塊，其特征是：所述動觸點端口通過傳輸線連接外接端口。

6.一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征是：包括如權(quán)利要求1-5中任一項所述的MEMS電子校準(zhǔn)模塊、開關(guān)控制模塊和控制器，其中：

所述控制器，連接矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀，被配置為發(fā)出控制指令，以控制MEMS開關(guān)的狀態(tài)切換；

所述開關(guān)控制模塊接收控制指令，并通過傳輸線與MEMS電子校準(zhǔn)模塊連接，驅(qū)動MEMS開關(guān)單元動作，以改變MEMS電子校準(zhǔn)模塊的動觸點端口與相應(yīng)的靜觸點端口的連接關(guān)系。

7.如權(quán)利要求6所述的一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征是：所述控制器還連接有存儲器和通信模塊，所述存儲器與所述控制器相連，用于電子校準(zhǔn)件定標(biāo)數(shù)據(jù)的存儲；所述開關(guān)控制單元與所述控制器相連，用于控制MEMS開關(guān)的狀態(tài)切換；所述通信模塊與所述控制器相連，用于與矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的通信。

8.如權(quán)利要求6所述的一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征是：所述存儲器為SRAM存儲器和/或FLASH存儲器，且存儲有不同阻抗標(biāo)準(zhǔn)值，所述不同阻抗標(biāo)準(zhǔn)值作為定標(biāo)值。

9.如權(quán)利要求6所述的一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征是：所述矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀內(nèi)配置有自動算法模塊，所述電子校準(zhǔn)件通過所述自動算法模塊的控制實現(xiàn)矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的自動校準(zhǔn)及誤差修正。

10.一種基于MEMS開關(guān)的電子校準(zhǔn)方法，其特征是：發(fā)出控制指令，控制MEMS開關(guān)的狀態(tài)切換，驅(qū)動MEMS開關(guān)單元動作，以改變MEMS電子校準(zhǔn)模塊的動觸點端口與相應(yīng)的靜觸點端口的連接關(guān)系，實現(xiàn)各種反射狀態(tài)和直通傳輸態(tài)的切換，進而實現(xiàn)矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的自動單、雙端口校準(zhǔn)及誤差修正。