[發明專利]使用小晶粒尺寸的陰極材料的離子泵惰性氣體穩定性

有效

• 申請號: 201811257859.5
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109706426B
• 公開（公告）日: 2020-01-21
• 發明（設計）人: A.懷諾拉德
• 申請（專利權）人: 愛德華茲真空泵有限責任公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 72001 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 鄒松青;譚祐祥

1.一種用于減小惰性氣體不穩定的方法，所述方法包括：

評定多個鈦板以確定每個板的晶粒尺寸；

從所述多個鈦板移除具有大于閾值尺寸的平均晶粒尺寸的所有鈦板；

使用在所述移除步驟之后保留在所述多個鈦板中的所述鈦板中的一個來形成離子泵的陰極；

其中，所述閾值晶粒尺寸具有ASTM晶粒數9。

2.根據權利要求1所述的方法，其中，所述多個鈦板包括單級鈦板。

3.根據權利要求1所述的方法，其中，移除具有大于所述閾值尺寸的晶粒尺寸的所述鈦板降低了包含保留在所述多個鈦板中的所述鈦板中的一個的離子泵將引發惰性氣體不穩定的可能性。

4.根據權利要求3所述的方法，其中，移除具有大于所述閾值尺寸的晶粒尺寸的所述鈦板降低了包含保留在所述多個鈦板中的所述鈦板中的一個的離子泵將引發氬氣不穩定的可能性。

5.一種用于減小惰性氣體不穩定的方法，所述方法包括：

要求陰極板具有小于閾值尺寸的平均晶粒尺寸；以及

由所述陰極板構造離子泵；

其中，所述閾值晶粒尺寸具有的ASTM晶粒數為9。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，與具有大于所述閾值尺寸的平均晶粒尺寸的陰極板相比，具有小于所述閾值尺寸的平均晶粒尺寸的陰極板具有更不頻繁的惰性氣體不穩定。

7.根據權利要求5所述的方法，其中，要求陰極板具有小于閾值尺寸的平均晶粒尺寸包括：要求分析用于所述陰極板的材料以確定所述材料的所述平均晶粒尺寸。

8.根據權利要求5所述的方法，其中，所述陰極由鈦制成。

9.根據權利要求8所述的方法，其中，所述陰極由單級鈦制成。

10.一種用于減小惰性氣體不穩定的方法，所述方法包括：

設置離子泵中的陰極板的最大平均晶粒尺寸；以及

使用具有小于或等于所述最大晶粒尺寸的平均晶粒尺寸的陰極板來構建所述離子泵；

其中，所述最大平均晶粒尺寸具有的ASTM晶粒數為9。

11.根據權利要求10所述的方法，其中，所述陰極板包含鈦。

12.根據權利要求10所述的方法，其中，設置所述最大平均晶粒尺寸包括：將所述最大平均晶粒尺寸設置成減少所述離子泵中的惰性氣體不穩定。

13.根據權利要求12所述的方法，將所述最大平均晶粒尺寸設置成減少所述離子泵中的惰性氣體不穩定包括：將所述最大平均晶粒尺寸設置成減少所述離子泵中的氬氣不穩定。

14.根據權利要求12所述的方法，其中，所述陰極板由2級鈦制成。

15.根據權利要求10所述的方法，其中，所述陰極板由5級鈦制成。