[發明專利]基于設備狀態的物料調度方法及物料調度系統

在審

• 申請號: 201811257751.6
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN111105062A
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 楊園
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06Q10/04
• 分類號: G06Q10/04;G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

本發明提供的基于設備狀態的物料調度方法及物料調度系統，在步驟S1中根據晶片的數量和每一晶片經歷的工序的數量建立工序集合，并在步驟S2中計算工序集合中每一未執行工序的等待時間，并確定等待時間最短的執行序列，由于每次執行的工序都是在步驟S2中從所有未執行工序中全局選取的，且每次執行的工序都是等待時間最短的工序，根據動態規劃理論最優化原理，一個解的所有階段子解為最優解，則所有階段子解構成的集合為一個最優解，因此，采用本發明提供的物料調度方法進行工藝的總時間是用時最短的，進而提升設備產能，使設備產能達到最優。

技術領域

本發明屬于微電子領域，涉及半導體加工設備，具體涉及一種基于設備狀態的物料調度方法及物料調度系統。

背景技術

隨著半導體技術的發展，半導體加工設備越來越復雜。物料(待加工工件)在加工過程中需要在多個不同腔室之間傳輸，甚至還需在不同工藝進行加工處理。

目前，本領域中常見的一種調度方法為基于搜索樹的枚舉方法，其是根據預先設定的物料傳輸路徑以及設備各部件的參數(例如機械手的傳片時間)，用搜索樹的方式將物料可能的所有移動順序窮舉一遍，最終選擇時間最短的那個分支作為物料的移動順序。

然而，在該調度方法中，當物料的傳輸路徑較為復雜時，搜索樹產生的分支較多，在這種情況下，將物料可能的所有移動順序窮舉一遍需要消耗大量的時間，從而計算效率較低，無法滿足實時計算的要求，另外，在該調度方法中，物料移動路徑是局部選取，不是全局選取，移動路徑非全局最優，設備產能未達最大化

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種基于設備狀態的物料調度方法及物料調度系統。

作為本發明的一方面，本發明提供的了一種基于設備狀態的物料調度方法，將設備中的腔室作為站點，其包括以下步驟：

S1、根據晶片的數量和每一晶片經歷的工序的數量，建立工序集合；

S2、計算工序集合中每一未執行工序的等待時間，并確定等待時間最短的執行序列；

S3、按照執行序列執行工序；

S4、判斷執行序列中是否還有未執行工序，若是，則返回步驟S2，若否，則結束。

其中，在執行步驟S3之前還包括：

S31、判斷待執行工序的站點是否為異常站點，若是異常站點，則從執行序列中移除異常站點執行的工序，并返回步驟S2重新確定執行序列；若不是異常站點，則進行步驟S3。

其中，步驟S3包括：

S32、判斷待執行工序的站點中是否具有閑置工藝位，若有，則進行步驟S33；若無，則返回判斷待執行工序的站點中是否具有閑置工藝位；

S33、按照執行序列執行工序。

其中，步驟S1還包括：

建立工序狀態列表，其中，工序狀態列表包括所有工序和每一工序對應的工序狀態，工序狀態包括已執行和未執行；

且步驟S3還包括：

S34、將工序狀態列表中該工序對應的工序狀態變更為已執行。

其中，步驟S3還包括：在按照執行序列執行工序之后，將已執行的工序刪除。

作為本發明的另一方面，本發明還提供了一種物料調度系統，包括用于執行任務的站點，其中，還包括，

計算線程模塊，用于根據晶片的數量和每一晶片經歷的工序的數量建立工序集合，并且，計算工序集合中每一未執行工序的等待時間，并確定等待時間最短的執行序列；

執行模塊，用于按執行序列執行待執行任務；