[發明專利]蒸鍍掩模和蒸鍍掩模的制造方法

有效

• 申請號: 201811257266.9
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109722627B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 宮谷勛;青木大吾;牛草昌人;村田佳則;岡本英介
• 申請（專利權）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

本發明提供蒸鍍掩模和蒸鍍掩模的制造方法，抑制發生貫通孔的位置偏移。蒸鍍掩模具有：有效部，在該有效部上設置有多個貫通孔；以及外框部，其包圍有效部。有效部包含：外周區域，其與外框部接觸；以及中央區域，其被外周區域包圍，具有比外周區域大的厚度。

技術領域

本發明的實施方式涉及蒸鍍掩模和蒸鍍掩模的制造方法。

背景技術

近年來，對于在智能手機或平板電腦等可移動設備中使用的顯示裝置，要求高精細化，例如要求像素密度為400ppi以上。另外，在可移動設備中，應對超高清(UHD)的需求也在提高，在這種情況下，要求顯示裝置的像素密度為例如800ppi以上。

在顯示裝置中，由于響應性良好、功耗低且對比度高，因此，有機EL顯示裝置也正在受到關注。作為形成有機EL顯示裝置的像素的方法，公知有如下的方法：使用形成有以所期望的圖案排列的貫通孔的蒸鍍掩模，以所期望的圖案形成像素。具體而言，首先，將蒸鍍掩模配置成與有機EL顯示裝置用的基板對置，接下來，將蒸鍍掩模和基板一起放入蒸鍍裝置中，進行使有機材料蒸鍍到基板上的蒸鍍工序。

作為蒸鍍掩模的制造方法，例如像專利文獻1所公開的那樣公知有利用鍍敷處理來制造蒸鍍掩模的方法。在例如專利文獻1所記載的方法中，首先，準備具有導電性的母模板。接下來，在母模板上以空出規定的間隙的方式形成抗蝕劑圖案。該抗蝕劑圖案設置在蒸鍍掩模的應該形成有貫通孔的位置。然后，向抗蝕劑圖案的間隙提供鍍敷液，通過電解鍍敷處理而在母模板上析出金屬層。然后，通過使金屬層從母模板分離，能夠獲得形成有多個貫通孔的蒸鍍掩模。

專利文獻1：日本特開2001-234385號公報

蒸鍍掩模具有設置有多個貫通孔的有效部和包圍有效部的外框部。外框部是用于支承有效部的部分，具有比有效部高的剛性。例如，在外框部上不設置貫通孔。或者，貫通孔在外框部中的分布密度比貫通孔在有效部中的分布密度低。

可是，會在通過鍍敷處理而制作出的蒸鍍掩模的金屬層上產生起因于鍍敷的內部應力。由于像上述那樣在有效部上設置有比外框部多的貫通孔，因此在有效部產生的內部應力比在外框部產生的內部應力小，有效部從外框部受到拉伸力。在該情況下，考慮到由拉伸力的偏差等而導致發生貫通孔的位置位移。

發明內容

本發明的實施方式的目的在于提供一種能夠有效地解決這樣的課題的蒸鍍掩模及其制造方法。

本發明的一個實施方式是一種蒸鍍掩模，其中，該蒸鍍掩模具有：有效部，在該有效部上設置有多個貫通孔；以及外框部，其包圍所述有效部，所述有效部包含：外周區域，其與所述外框部接觸；以及中央區域，其被所述外周區域包圍，具有比所述外周區域大的厚度。

可以是，在本發明的一個實施方式的蒸鍍掩模中，在將所述有效部沿著第一方向和與所述第一方向垂直的第二方向分別三等分而將所述有效部假想地分割成九個區域的情況下，與所述外框部接觸的八個區域構成所述外周區域，中央的一個區域構成所述中央區域。

在本發明的一個實施方式的蒸鍍掩模中，在用T1表示所述外周區域的厚度的平均值、用σ1表示所述外周區域的厚度的標準偏差、用T2表示所述中央區域的厚度的平均值的情況下，優選以下的關系式成立，

T1＜T2

3σ1＜T2/2。

可以是，在本發明的一個實施方式的蒸鍍掩模中，所述外周區域的厚度的平均值T1和標準偏差σ1是通過在構成所述外周區域的八個區域的每一個區域中的九處測定厚度而計算出的，所述中央區域的厚度的平均值T2是通過在構成所述中央區域的一個區域的九處測定厚度而計算出的。