[發明專利]一種溫控設備用精密控溫系統

在審

• 申請號: 201811257132.7
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109489454A
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 金鑫;王光光
• 申請（專利權）人: 無錫溥匯機械科技有限公司
• 主分類號: F28D7/16
• 分類號: F28D7/16;F28F27/02;F24H1/20;F24H9/20
• 代理公司: 無錫萬里知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32263
• 代理人: 王傳林

本發明公開了一種溫控設備用精密控溫系統，旨在提供一種可以精密控制的控溫系統，其技術方案要點是，包括筒體，所述筒體頂端設有冷卻水進口，所述筒體側壁設有循環液出口，所述循環液出口下方還設有循環液進口，所述筒體底部設有冷卻水出口，所述筒體內還設有控溫部，所述控溫部包括位于筒體靠近冷卻水進口設有的進口端蓋、位于進口端蓋下的第一隔板、位于筒體內的換熱管、位于冷卻水出口設有的出口端蓋、位于筒體內靠近冷卻水出口的第二隔板及位于筒體內的加熱器。

技術領域

本發明涉及溫控設備領域，特別涉及一種溫控設備用精密控溫系統。

背景技術

現代超精密制造、加工以及儀器測量已進入到納米、亞納米甚至皮米的技術水平。隨著科學技術的提高，環境因素對這些高、精、尖儀器設備的影響作用也越來越顯著。據相關統計，在精密及超精密加工中，近 40%～70%的加工誤差來源于機床的熱變形，顯然以溫度為代表的環境參數已經成為制約超精密技術進一步發展的重要因素。

光刻機作為高集成度、高精密制造裝備對工作環境要求極為苛刻，因此迫切需要一種高精度溫控設備。

目前，公開號為CN108266887A的中國專利公開了一種電加熱器，它包括電加熱管、殼體和安裝板，殼體包括周壁和隔離部件，隔離部件位于周壁內側，隔離部件與殼體的周壁固定設置；隔離部件具有相對設置的第一側部和第二側部，第一側部具有凹槽，電加熱管的一部分位于凹槽；隔離部件的第二側部、安裝板及位于兩者之間的殼體的周壁為形成流體腔的一部分壁部，流體腔位于加熱管腔和安裝腔之間，流體腔與加熱管腔通過隔離部件分隔，流體腔與安裝腔通過安裝板分隔；電加熱器包括支架和與支架固定設置的溫度保險絲，支架與電加熱管固定或接觸設置，溫度保險絲與電加熱管的電路串聯。

這種電加熱器雖然電加熱器的安全性高，且工作壽命長，但是其中的加熱部件僅為加熱部件，換熱器僅為換熱器，需把兩者串聯起來，分別控制，對提高控溫精度有局限性。

發明內容

本發明的目的是提供一種溫控設備用精密控溫系統，其具有實現循環液降溫與加熱通過一套設備實現，替代了加熱器和換熱器組合串聯式結構，簡化流程，降低成本的優點。

本發明的上述技術目的是通過以下技術方案得以實現的：

一種溫控設備用精密控溫系統，包括筒體，所述筒體頂端設有冷卻水進口，所述筒體側壁設有循環液出口，所述循環液出口下方還設有循環液進口，所述筒體底部設有冷卻水出口，所述筒體內還設有控溫部，所述控溫部包括位于筒體靠近冷卻水進口設有的進口端蓋、位于進口端蓋下的第一隔板、位于筒體內的換熱管、位于冷卻水出口設有的出口端蓋、位于筒體內靠近冷卻水出口的第二隔板及位于筒體內的加熱器。

通過采用上述技術方案，實現了一器三功能：加熱、換熱和儲液，采用換熱管和隔板中層的區域，把冷卻水和循環液隔開，通過換熱管實現兩種液體的熱傳遞，而布置在循環液的加熱器，對循環液加熱實現溫度補償和升溫工作，同時循環液可以在腔體里實現暫存，實現儲液功能，實現循環液降溫與加熱同時實現，替代了加熱通和換熱器組合串聯式結構，簡化流程，降低成本。

進一步設置：所述第一隔板與進口端蓋相對于筒體同軸，所述第二隔板與出口端蓋相對于筒體同軸。

通過采用上述技術方案，第一隔板與進口端蓋以及第二隔板與出口端蓋這兩組之間的間距相等，從而可以更為精確的控制換熱情況。

進一步設置：所述加熱器布置于筒體同軸位置，加熱器底部同軸貫穿密封配合的第二隔板及出口端蓋，所述加熱器位于第二隔板與進口端蓋之間。

通過采用上述技術方案，加熱器底部為非加熱區域，并同軸貫穿密封配合第二隔板、出口端蓋，同時加熱器加熱區域僅在第二隔板和進口端蓋之間區域，便于熱量的控制。

進一步設置：所述換熱管兩端分別與第一隔板和第二隔板焊接。