[發(fā)明專利]一種磊晶基板的加工裝置

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201811255887.3
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109300818A
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張婷
• 申請（專利權(quán)）人: 張婷
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 廈門智慧呈睿知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 35222
• 代理人: 郭福利

1.一種磊晶基板的加工裝置，包括工作臺（1），其特征在于：所述工作臺（1）上設(shè)置有支撐架（2）、放置板（3）、除塵裝置（4）和固定桿（5），所述支撐架（2）固定連接在所述工作臺（1）的上表面，所述放置板（3）固定連接在所述支撐架（2）的內(nèi)側(cè)，所述除塵裝置（4）固定連接在所述工作臺（1）底部的右側(cè)，所述固定桿（5）固定連接在所述放置板（3）的右側(cè)，所述支撐架（2）上設(shè)置有第一推動(dòng)器（6）和第二推動(dòng)器（7），所述第一推動(dòng)器（6）固定連接在所述支撐架（2）上端的中間處，所述第二推動(dòng)器（7）固定連接在所述支撐架（2）上端的右側(cè)，所述第一推動(dòng)器（6）的下方設(shè)置有第一推動(dòng)桿（8），所述第一推動(dòng)桿（8）的下端設(shè)置有限位板（9），所述第二推動(dòng)器（7）的下方設(shè)置有第二推動(dòng)桿（10），所述第二推動(dòng)桿（10）的下方設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)（11），所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（11）的左端設(shè)置有切割刀（12），所述放置板（3）的右側(cè)設(shè)置有刻度尺（13），所述固定桿（5）的上端設(shè)置有緩沖板（14），所述除塵裝置（4）上設(shè)置有吸塵電機(jī)（15）、吸塵管（16）、輸送管（17）和裝塵室（18），所述吸塵電機(jī)（15）固定連接在所述除塵裝置（4）內(nèi)部的右側(cè)，所述吸塵管（16）固定連接在所述吸塵電機(jī)（15）的上端，所述輸送管（17）固定連接在所述吸塵電機(jī)（15）的左端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磊晶基板的加工裝置，其特征在于：所述限位板（9）通過螺紋與所述第一推動(dòng)桿（8）的下端相連接，所述限位板（9）的右端與所述放置板（3）的右端在同一水平面上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磊晶基板的加工裝置，其特征在于：所述切割刀（12）通過鉚釘與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（11）相連接，并且與所述限位板（9）和放置板（3）的右端有5mm的間隙。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磊晶基板的加工裝置，其特征在于：所述固定桿（5）通過鉚釘與所述工作臺（1）相連接，所述緩沖板（14）通過螺紋與所述固定桿（5）的上端相連接，所述緩沖板（14）呈弧形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磊晶基板的加工裝置，其特征在于：所述吸塵管（16）采用PVC的材質(zhì)制作，所述吸塵管（16）的上端穿過所述除塵裝置（4）的內(nèi)部，并且位于所述放置板（3）的右端，所述吸塵管（16）的另一端通過鉚釘與所述吸塵電機(jī)（15）相連接。