[發明專利]一種磊晶基板的加工裝置

在審

• 申請號: 201811255887.3
• 申請日: 2018-10-26
• 公開（公告）號: CN109300818A
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 張婷
• 申請（專利權）人: 張婷
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 廈門智慧呈睿知識產權代理事務所(普通合伙) 35222
• 代理人: 郭福利

1.一種磊晶基板的加工裝置，包括工作臺（1），其特征在于：所述工作臺（1）上設置有支撐架（2）、放置板（3）、除塵裝置（4）和固定桿（5），所述支撐架（2）固定連接在所述工作臺（1）的上表面，所述放置板（3）固定連接在所述支撐架（2）的內側，所述除塵裝置（4）固定連接在所述工作臺（1）底部的右側，所述固定桿（5）固定連接在所述放置板（3）的右側，所述支撐架（2）上設置有第一推動器（6）和第二推動器（7），所述第一推動器（6）固定連接在所述支撐架（2）上端的中間處，所述第二推動器（7）固定連接在所述支撐架（2）上端的右側，所述第一推動器（6）的下方設置有第一推動桿（8），所述第一推動桿（8）的下端設置有限位板（9），所述第二推動器（7）的下方設置有第二推動桿（10），所述第二推動桿（10）的下方設置有驅動電機（11），所述驅動電機（11）的左端設置有切割刀（12），所述放置板（3）的右側設置有刻度尺（13），所述固定桿（5）的上端設置有緩沖板（14），所述除塵裝置（4）上設置有吸塵電機（15）、吸塵管（16）、輸送管（17）和裝塵室（18），所述吸塵電機（15）固定連接在所述除塵裝置（4）內部的右側，所述吸塵管（16）固定連接在所述吸塵電機（15）的上端，所述輸送管（17）固定連接在所述吸塵電機（15）的左端。

2.根據權利要求1所述的一種磊晶基板的加工裝置，其特征在于：所述限位板（9）通過螺紋與所述第一推動桿（8）的下端相連接，所述限位板（9）的右端與所述放置板（3）的右端在同一水平面上。

3.根據權利要求1所述的一種磊晶基板的加工裝置，其特征在于：所述切割刀（12）通過鉚釘與所述驅動電機（11）相連接，并且與所述限位板（9）和放置板（3）的右端有5mm的間隙。

4.根據權利要求1所述的一種磊晶基板的加工裝置，其特征在于：所述固定桿（5）通過鉚釘與所述工作臺（1）相連接，所述緩沖板（14）通過螺紋與所述固定桿（5）的上端相連接，所述緩沖板（14）呈弧形。

5.根據權利要求1所述的一種磊晶基板的加工裝置，其特征在于：所述吸塵管（16）采用PVC的材質制作，所述吸塵管（16）的上端穿過所述除塵裝置（4）的內部，并且位于所述放置板（3）的右端，所述吸塵管（16）的另一端通過鉚釘與所述吸塵電機（15）相連接。