[發明專利]非平行可動電極厚度測量方法、裝置以及系統

有效

• 申請號: 201811250577.2
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN109373914B
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 黃欽文;董顯山;朱軍華;恩云飛;王蘊輝
• 申請（專利權）人: 中國電子產品可靠性與環境試驗研究所（（工業和信息化部電子第五研究所）（中國賽寶實驗室））
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 周清華

1.一種非平行可動電極厚度測量方法，其特征在于，包括以下步驟：

獲取靜電換能器的可動電極，在各偏置電壓下分別對應的角度偏移量和極間距離；所述角度偏移量為所述可動電極在所述偏置電壓下轉動的角度；所述極間距離為所述可動電極的第一端面與所述靜電換能器的固定電極的第一端面之間的最大距離；所述可動電極的第一端面遠離所述固定電極設置；所述固定電極的第一端面靠近所述可動電極設置；

獲取所述固定電極的第一端與用于固定所述可動電極的固定端面之間的第一距離，以及所述固定電極的第二端與所述固定端面之間的第二距離；

根據各所述偏置電壓、各所述角度偏移量、各所述極間距離、所述第一距離和所述第二距離，得到所述可動電極的厚度。

2.根據權利要求1所述的非平行可動電極厚度測量方法，其特征在于，所述偏置電壓小于所述靜電換能器的臨界電壓。

3.根據權利要求1或2所述的非平行可動電極厚度測量方法，其特征在于，獲取靜電換能器的可動電極，在各偏置電壓下分別對應的角度偏移量和極間距離的步驟包括：

獲取所述靜電換能器在第一偏置電壓下的第一角度偏移量和第一極間距離，在第二偏置電壓下的第二角度偏移量和第二極間距離；

根據各所述偏置電壓、各所述角度偏移量、各所述極間距離、所述第一距離和所述第二距離，得到所述可動電極的厚度的步驟包括：

獲取所述第一極間距離與所述第二極間距離的差值，得到所述靜電換能器從所述第一偏置電壓至所述第二偏置電壓的間距變化量；

根據所述第一角度偏移量、所述第一極間距離、所述第二角度偏移量、所述間距變化量、所述第二極間距離、所述第一距離和所述第二距離，得到所述可動電極的厚度。

4.根據權利要求3所述的非平行可動電極厚度測量方法，其特征在于，根據所述第一角度偏移量、所述第一極間距離、所述第二角度偏移量、所述間距變化量、所述第二極間距離、所述第一距離和所述第二距離，得到所述可動電極的厚度的步驟包括：

根據所述第一角度偏移量、所述間距變化量、所述第二角度偏移量、所述第一距離和所述第二距離，得到所述靜電換能器在所述第一偏置電壓下的第一近離距離；所述第一近離距離為所述可動電極的第二端面至所述固定電極的第一端面的最大距離；所述可動電極的第二端面靠近所述固定電極設置；

獲取所述第一極間距離與所述第一近離距離的差值，得到所述可動電極的厚度。

5.根據權利要求4所述的非平行可動電極厚度測量方法，其特征在于，基于以下公式獲取所述第一近離距離：

其中，V₁表示所述第一偏置電壓；V₂表示所述第二偏置電壓；h₁表示所述第一近離距離；Δh表示所述間距變化量；Δθ₁表示第一角度偏移量；Δθ₂表示第二角度偏移量；a₁為所述第一距離；a₂為所述第二距離；

基于以下公式獲取所述可動電極的厚度：

t＝H₁-h₁

其中，t表示所述可動電極的厚度；H₁表示所述第一極間距離。

6.根據權利要求3所述的非平行可動電極厚度測量方法，其特征在于，根據所述第一角度偏移量、所述第一極間距離、所述第二角度偏移量、所述間距變化量、所述第二極間距離、所述第一距離和所述第二距離，得到所述可動電極的厚度的步驟包括：

根據所述第一角度偏移量、所述間距變化量、所述第二角度偏移量、所述第一距離和所述第二距離，得到所述靜電換能器在所述第二偏置電壓下的第二近離距離；所述第二近離距離為所述可動電極的第二端面至所述固定電極的第一端面的最大距離；所述可動電極的第二端面靠近所述固定電極設置；

獲取所述第二極間距離與所述第二近離距離的差值，得到所述可動電極的厚度。