[發(fā)明專利]基于Fano諧振的橢圓空氣孔部分刻蝕型光子晶體傳感器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811244602.6
• 申請(qǐng)日: 2018-10-24
• 公開（公告）號(hào): CN109470652A
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田慧平;王錚;王超;孫富君;肖澤坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京郵電大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N21/41
• 分類號(hào): G01N21/41
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.提出一種基于Fano諧振的橢圓空氣孔部分刻蝕的二維光子晶體傳感器結(jié)構(gòu)，其特征在于：該傳感器制作材料選擇為氮化硅，通過調(diào)整橢圓空氣孔刻蝕深度，使得光場中心局域在空氣孔孔內(nèi)和附近空間。其中光子晶體板板厚160nm，空氣孔的刻蝕深度為板厚的一半，即80nm。此時(shí)，在垂直平面波光源的照射下，光子晶體板內(nèi)將激發(fā)出兩種模式，分別為類TE模和類TM模。其中類TE模的光場中心局域在空氣孔正上下方，類TM模的光場中心局域在光子晶體板的正上下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的方法，實(shí)現(xiàn)了基于Fano諧振的橢圓空氣孔部分刻蝕的二維光子晶體傳感器結(jié)構(gòu)。其特征在于提高了全透射型結(jié)構(gòu)的品質(zhì)因子和靈敏度指標(biāo)。該結(jié)構(gòu)置于液體環(huán)境中，激發(fā)出的兩種模式分別對(duì)周圍環(huán)境的折射率變化表現(xiàn)出不同的敏感性。其中類TE模式靈敏度為582.5nm/RIU，類TM模式靈敏度為930.5nm/RIU。

3.根據(jù)權(quán)利要求1，2中所述，該結(jié)構(gòu)可以用于液體環(huán)境的折射率檢測，且由于氮化硅物理化學(xué)性質(zhì)較為穩(wěn)定，可以適應(yīng)一定的惡劣條件。