[發明專利]一種實驗室檢測用的硅片翻轉沖洗裝置

在審

• 申請號: 201811243456.5
• 申請日: 2018-10-24
• 公開（公告）號: CN109107985A
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 梅勇康
• 申請（專利權）人: 梅勇康
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/02;B08B13/00;B08B3/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供一種實驗室檢測用的硅片翻轉沖洗裝置，包括掛桿，插套，清洗液泵，硅片插架，滑動桿，定位套，濾筒，濾筒蓋，噴水管和電熱風機；所述清洗筒的底部焊接固定有一處聚水罩，此聚水罩與清洗筒的交界處焊接支撐有一處安裝環板，且三處電動推桿就呈環形陣列支撐安裝于安裝環板的頂端；所述濾筒蓋螺紋擰緊于排水方管底部的開口螺紋圓管；所述定位套的后側板面上還支撐焊接有一處掛鉤，且滑動桿的后端鉤框可轉動鉤掛于此掛鉤上，本發明濾筒的設置，濾筒能夠過濾盛液筒內部清洗掉的雜質，且雜質會被截留其內部，只需將濾筒蓋松開即可將濾筒抽拉取出對截留雜質進行方便的傾倒沖洗。

技術領域

本發明屬于硅片凈洗設備技術領域，更具體地說，特別涉及一種實驗室檢測用的硅片翻轉沖洗裝置。

背景技術

隨著大規模集成電路的發展、集成電路的集成度不斷提高、線寬不斷減小，集成電路對硅片表面的潔凈度、表面化學態、氧化膜厚度的要求也越來越高。硅片在進行試驗測試時必須經嚴格清洗，否則即使微量污染也會導致后續檢測數據的偏差，進而這就需要一種實驗室檢測用的硅片翻轉沖洗裝置。

經過檢索例如專利號為CN207781552U的專利，公開了一種硅片制絨工藝處理技術領域，尤其是一種制絨后硅片清洗檢測裝置，包括PLC控制器、電阻率測試儀、報警器及裝有純水的慢提拉槽體，慢提拉槽體的上端具有溢流口，慢提拉槽體的溢流口處連通有溢流管，電阻率測試儀用于檢測溢流管中液體的電阻率，PLC控制器分別與電阻率測試儀及報警器信號連接，本發明通過將硅片放入到裝有純水的慢提拉槽體中，然后巧妙的利用電阻率測試儀檢測慢提提拉槽體中所溢流出的液體的電阻率是否發生變化，從而獲知硅片是否清洗干凈，確保制絨后的硅片經水洗、酸洗及再次水洗其表面不在殘留化學藥液，有效的避免了后續制絨后的硅片被污染的問題及對后續工藝造成影響，進而提高太陽能電池的轉換效率。

基于上述專利并結合現有技術本發明人發現，現有的設備雖然能夠進行常規的凈洗設備使用，但是其在實際應用中存在，功能集成較少，不能夠一次性的進行清洗，清水沖洗以及烘干，使用較為繁瑣不便，且清洗的效果較差，另外對清洗液雜質的濾凈效果較差，不便于對截留雜質進行清理的問題。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供一種實驗室檢測用的硅片翻轉沖洗裝置，以解決現有硅片凈洗設備功能集成較少，不能夠一次性的進行清洗，清水沖洗以及烘干，使用較為繁瑣不便，且清洗的效果較差，另外對清洗液雜質的濾凈效果較差，不便于對截留雜質進行清理的問題。

本發明實驗室檢測用的硅片翻轉沖洗裝置的目的與功效，由以下具體技術手段所達成：