[發明專利]時域熱反射譜測量中的自動聚焦方法

在審

• 申請號: 201811240469.7
• 申請日: 2018-10-23
• 公開（公告）號: CN109342322A
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 盧明輝;潘佳慧;顏學俊;曾明超;馮元會;劉曉平;陳延峰
• 申請（專利權）人: 南京光聲超構材料研究院有限公司
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17;G01N21/01
• 代理公司: 江蘇法德永衡律師事務所 32305
• 代理人: 李媛媛

1.時域熱反射譜測量中的自動聚焦方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)利用步進電機控制顯微鏡頭沿同一方向移動數次，同步記錄電機每次行進一步所對應的光信號強度，根據信號強度的變化確定電機的步進方向；

(2)將步進電機從當前位置開始沿步驟(1)確定的步進方向步進數次，每步進一次，記錄步進電機的當前位置以及光信號強度的數據，并對獲得的數據進行二次函數擬合，若擬合線存在信號強度最大值，且該最大值對應的電機位置在預設的步進位移范圍內，則停止步進；然后將步進電機移到信號強度最大值所對應的位置坐標處，完成粗聚焦；

(3)繼續將步驟(2)的步進電機步進數次，每步進一次，記錄步進電機的當前位置以及光信號強度的數據，并對獲得的數據進行二次函數擬合，若擬合線存在信號強度最大值，且該最大值對應的電機位置在預設的步進位移范圍內，則停止步進；然后將步進電機移到信號強度最大值所對應的位置坐標處，完成精細聚焦。

2.根據權利要求1所述的時域熱反射譜測量中的自動聚焦方法，其特征在于，所述步驟(1)中，若信號強度的變化為逐漸減小，則反轉步進電機的步進方向；若信號強度的變化為逐漸增大，則保持當前的步進方向。