[發明專利]索勒狹縫、X射線衍射裝置以及方法有效
| 申請號： | 201811238458.5 | 申請日： | 2018-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN109709118B | 公開（公告）日： | 2022-04-26 |
| 發明（設計）人： | 拉迪斯拉洛·皮娜;阿道夫·茵內曼;表和彥;小林信太郎 | 申請（專利權）人： | 株式會社理學 |
| 主分類號： | G01N23/207 | 分類號： | G01N23/207;G01N23/20008 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 王暉 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 狹縫 射線 衍射 裝置 以及 方法 | ||
1.一種X射線衍射裝置，其特征在于，具備：
X射線源，向試料照射線聚焦的X射線；
索勒狹縫，具備多個薄板，所述多個薄板各自相對于底面垂直，并且相互隔開規定的角度間隔而排列為拱形，以使得從特定的焦點向放射方向通過X射線；
面內臂，被設置成相對于測角器圓的中心能夠旋轉；和
光子計數型的二維檢測器，被設置于所述面內臂上，在二維的檢測區域檢測通過了所述索勒狹縫的衍射X射線，
所述索勒狹縫設置于以掠入射X射線衍射用的角度被照射至所述試料并在與所述試料內的試料面垂直的結晶晶格面被衍射的X射線將所述測角器圓的中心作為所述特定的焦點來通過的位置，相鄰的薄板以特定的焦點為中心相互隔開被設置為面內方向的衍射X射線測定的分辨率為1°以下的角度間隔，
根據所述面內臂的驅動來檢測所述被衍射的X射線。
2.根據權利要求1所述的X射線衍射裝置，其特征在于，
所述X射線衍射裝置還具備：時間延遲積分控制部，根據所述檢測器上的X射線強度的檢測位置和所述面內臂的旋轉角度，來計算針對空間上的檢測位置所檢測出的X射線強度。
3.根據權利要求1所述的X射線衍射裝置，其特征在于，
所述X射線衍射裝置還具備：搖動機構，設置有所述索勒狹縫，使所述索勒狹縫能夠以所述特定的焦點為中心來進行搖動。
4.一種利用權利要求1所述的X射線衍射裝置來測定衍射X射線的方法，其特征在于，包括：
將所述索勒狹縫設置于在試料面上被衍射的X射線將所述測角器圓的中心作為所述特定的焦點來通過的位置的步驟；和
以掠入射X射線衍射用的角度將X射線照射至所述試料，經由所述索勒狹縫通過檢測器來檢測被所述試料衍射的X射線的步驟。
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