[發(fā)明專利]一種亞波長雙光斑分裂聚焦微納結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811237909.3 | 申請日： | 2018-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN109375299B | 公開（公告）日： | 2020-05-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李艷秋;郭哲 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京理工大學(xué) |
| 主分類號： | G02B5/00 | 分類號： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 北京理工大學(xué)專利中心 11120 | 代理人： | 李微微;仇蕾安 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 波長 光斑 分裂 聚焦 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種亞波長雙光斑分裂聚焦微納結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括基底以及基底上的銀膜；銀膜上分布有周期性結(jié)構(gòu)陣列；每個結(jié)構(gòu)包括對銀膜進(jìn)行刻蝕形成的圓形凹槽，以及保留在圓形凹槽中心區(qū)域的橢圓環(huán)狀銀膜；其中，圓形凹槽和橢圓環(huán)狀銀膜的尺寸均為納米量級；所述橢圓環(huán)狀銀膜的外環(huán)長軸與短軸的長度比大于1.1且橢圓環(huán)狀銀膜的環(huán)寬大于12nm。
2.如權(quán)利要求1所述的一種亞波長雙光斑分裂聚焦微納結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基底為折射率n＝1.4-1.5的石英玻璃。
3.如權(quán)利要求1所述的一種亞波長雙光斑分裂聚焦微納結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述圓形凹槽半徑長r為55nm至60nm，橢圓環(huán)狀銀膜的內(nèi)環(huán)的長半軸ai為16nm至18nm，橢圓環(huán)狀銀膜內(nèi)環(huán)的短半軸bi為10nm至12nm，橢圓環(huán)狀銀膜外環(huán)的長半軸ao為30nm至35nm，橢圓環(huán)狀銀膜外環(huán)的短半軸bo為22nm至25nm。
4.如權(quán)利要求1所述的一種亞波長雙光斑分裂聚焦微納結(jié)構(gòu)，其特征在于，銀膜厚度t為16nm至18nm。
5.如權(quán)利要求1所述的一種亞波長雙光斑分裂聚焦微納結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述結(jié)構(gòu)的周期長度d為370nm至390nm。
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