[發(fā)明專利]光刻膠排放系統(tǒng)及光刻膠排放方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811235761.X
• 申請(qǐng)日: 2018-10-23
• 公開（公告）號(hào): CN111090219A
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭義強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16;G03F7/30
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本發(fā)明提供一種光刻膠排放系統(tǒng)及光刻膠排放方法，光刻膠排放系統(tǒng)包括：若干個(gè)光刻膠供給源，用于提供光刻膠；若干個(gè)緩沖罐，與光刻膠供給源一一對(duì)應(yīng)連接；若干個(gè)第一供液管路，位于光刻膠供給源與緩沖罐之間，一端與光刻膠供給源一一對(duì)應(yīng)連接，另一端與緩沖罐一一對(duì)應(yīng)連接；若干個(gè)排液管路，與緩沖罐一一對(duì)應(yīng)連接；若干個(gè)第二供液管路，一端與緩沖罐一一對(duì)應(yīng)連接。本發(fā)明的光刻膠排放系統(tǒng)通過使用不同排液管路與各個(gè)緩沖罐一一對(duì)應(yīng)連接，即將不同的緩沖罐使用不同的排液管路連接，不同的光刻膠供給源之間相互獨(dú)立，不會(huì)造成不同光刻膠之間交叉污染，也不會(huì)存在濾出的雜質(zhì)回流污染正常的光刻膠的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于集成電路技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種光刻膠排放系統(tǒng)及光刻膠排放方法。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有的光刻膠排放系統(tǒng)中，各光刻膠供給瓶與噴嘴之間的連接管路上均會(huì)設(shè)置緩沖罐 (buffer tank)，所述緩沖罐用于暫存光刻膠、過濾光刻膠中的氣泡及雜質(zhì)；同時(shí)，緩沖罐會(huì)通過一排液管路連接至廠務(wù)排污系統(tǒng)以將過濾出的氣泡、雜質(zhì)和廢光刻膠排出所述緩沖罐之外。然而，目前的光刻膠排放系統(tǒng)中，不同的光刻膠的緩沖罐(即與存放不同光刻膠的光刻膠供給瓶相連接的不同的緩沖罐)的排液管路是相互連通的，這必然會(huì)在排出氣泡、雜質(zhì)和廢光刻膠的過程中造成不同的光刻膠之間的交叉污染，過濾出的雜質(zhì)在光刻膠回流的過程中也會(huì)經(jīng)由排液管路污染正常的光刻膠，從而造成光刻膠的浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種光刻膠排放系統(tǒng)及光刻膠排放方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中的光刻膠排放系統(tǒng)中由于連接不同的光刻膠的緩沖罐的排液管路相互連通而導(dǎo)致的造成不同的光刻膠之間的交叉污染的問題，以及過濾出的雜質(zhì)在光刻膠回流的過程中會(huì)污染正常的光刻膠的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種光刻膠排放系統(tǒng)，所述光刻膠排放系統(tǒng)包括：

若干個(gè)光刻膠供給源，用于提供光刻膠；

若干個(gè)緩沖罐，與所述光刻膠供給源一一對(duì)應(yīng)連接；

若干個(gè)第一供液管路，位于所述光刻膠供給源與所述緩沖罐之間，一端與所述光刻膠供給源一一對(duì)應(yīng)連接，另一端與所述緩沖罐一一對(duì)應(yīng)連接；

若干個(gè)排液管路，與所述緩沖罐一一對(duì)應(yīng)連接；及

若干個(gè)第二供液管路，一端與所述緩沖罐一一對(duì)應(yīng)連接。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，部分所述光刻膠供給源提供的光刻膠互不相同。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，若干個(gè)所述光刻膠供給源提供的光刻膠均互不相同。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述光刻膠供給源包括光刻膠供給瓶。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述光刻膠排放系統(tǒng)還包括：

排污端口，與若干個(gè)所述排液管路遠(yuǎn)離所述緩沖罐的一端均相連接；及

廠務(wù)排污系統(tǒng)，與所述排污端口相連接。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述光刻膠排放系統(tǒng)還包括供氣管路，一端與所述光刻膠供給源相連接，另一端與氣體源相連接。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述氣體源包括氮?dú)庠础?/p>

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述光刻膠排放系統(tǒng)還包括若干個(gè)噴嘴，若干個(gè)所述噴嘴與所述第二供液管路遠(yuǎn)離所述緩沖罐的一端一一對(duì)應(yīng)連接。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述光刻膠排放系統(tǒng)還包括：

若干個(gè)過濾器，一一對(duì)應(yīng)設(shè)置于所述第二供液管路上；

若干個(gè)捕集阱，一一對(duì)應(yīng)設(shè)置于所述第二供液管路上，且位于所述過濾器與所述噴嘴之間；