[發(fā)明專利]氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)憶阻器的制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811230289.0
• 申請(qǐng)日: 2018-10-22
• 公開（公告）號(hào): CN109585647B
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李穎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安理工大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L45/00
• 分類號(hào): H01L45/00;B82Y30/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所 61214
• 代理人: 王蕊轉(zhuǎn)

1.氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)憶阻器的制備方法，其特征在于：具體包括如下步驟：

步驟1，制備氧化鎳凝膠薄膜；

所述步驟1的具體過程如下：

步驟1.1，配置氧化鎳溶膠；

步驟1.2，采用浸漬-提拉法將步驟1.1所得的氧化鎳溶膠在ITO底電極上進(jìn)行陳化，得氧化鎳凝膠薄膜；

步驟1.3，將步驟1.2所得的氧化鎳凝膠薄膜在室溫下進(jìn)行干燥，即得；

步驟2，在步驟1制備的氧化鎳凝膠薄膜上制備氧化鈦凝膠膜，得氧化鈦/氧化鎳基片；

所述步驟2中氧化鈦/氧化鎳基片的制備過程為：

步驟2.1，配置氧化鈦溶膠；

步驟2.2，采用浸漬-提拉法將步驟2.1所得的氧化鈦溶膠在步驟1所得的氧化鎳凝膠薄膜上陳化氧化鈦凝膠膜，然后在干燥箱內(nèi)進(jìn)行干燥，得氧化鈦/氧化鎳基片；

步驟3，在步驟2所得氧化鈦/氧化鎳基片上陳化氧化鎳凝膠薄膜，得氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)薄膜；

所述步驟3的具體過程如下：

采用浸漬-提拉法在步驟2所得的氧化鈦/氧化鎳基片上陳化氧化鎳凝膠薄膜，然后在熱處理爐中進(jìn)行650~750℃熱處理，熱處理時(shí)間為20~25分鐘，然后取出自然冷卻，即得氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)薄膜；

步驟4，使用濺射儀對(duì)步驟3所得的氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)薄膜進(jìn)行頂電極制備，即得。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)憶阻器的制備方法，其特征在于：所述步驟1.1中，氧化鎳溶膠的配置過程為：將醋酸鎳、乙酰丙酮、丙烯酸及乙二醇甲醚按1:1:1:24的摩爾比混合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)憶阻器的制備方法，其特征在于：所述步驟2.1配置氧化鈦溶膠的具體過程如下：

采用鈦酸丁酯作為前驅(qū)體，乙醇為溶劑，鈦酸丁酯:乙醇:水的物質(zhì)的量之比為1:20:1；使用硝酸調(diào)節(jié)Ph值為4~5，在室溫下均勻攪拌6~8h，并陳化20~24h，得氧化鈦溶膠。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)憶阻器的制備方法，其特征在于：所述步驟4的具體過程如下：打開濺射儀，將氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)薄膜樣品放入，固定好掩膜板，然后打開濺射儀電源，進(jìn)行抽氣，當(dāng)真空度達(dá)到1*10^-3Pa后可對(duì)其進(jìn)行頂電極的濺射。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氧化鎳/氧化鈦/氧化鎳多層異質(zhì)結(jié)憶阻器的制備方法，其特征在于：濺射靶材為Pt，純度為99.9%，濺射時(shí)間為5~6min，濺射好的Pt層為氧化鈦/氧化鎳復(fù)合薄膜電阻存儲(chǔ)器薄膜的頂電極。