[發(fā)明專利]壓力傳感器組件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811228072.6
• 申請(qǐng)日: 2018-10-22
• 公開（公告）號(hào): CN109696268B
• 公開（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B.W.圭拉迪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 泰連公司
• 主分類號(hào): G01L9/04
• 分類號(hào): G01L9/04;G01L9/06
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 葛青

1.一種壓力傳感器組件(100)，包括：

傳感器管芯(102)，具有第一側(cè)(118)和與所述第一側(cè)相對(duì)的第二側(cè)(204)，所述傳感器管芯包括具有隔膜(106)的硅芯片(202)，所述隔膜配置為暴露于工作流體，所述傳感器管芯包括一個(gè)或多個(gè)電感測(cè)元件(109)，所述一個(gè)或多個(gè)電感測(cè)元件安裝在所述隔膜上且配置為測(cè)量所述工作流體的壓力；以及

陶瓷基板(104)，所述傳感器管芯經(jīng)由焊料層(201)安裝至所述陶瓷基板，所述焊料層接合所述陶瓷基板的安裝表面和所述傳感器管芯的第二側(cè)，

其中所述陶瓷基板的安裝表面沿著所述陶瓷基板的頂表面的一部分設(shè)置，并且其中所述陶瓷基板的頂表面的剩余部分沿著公共平面從所述安裝表面徑向向外延伸并且遠(yuǎn)離所述傳感器管芯的第二側(cè)；

其中所述傳感器管芯包括從所述第二側(cè)延伸到所述隔膜的腔，其中所述陶瓷基板具有面向管芯側(cè)和與該面向管芯側(cè)相對(duì)的背側(cè)，所述陶瓷基板包括從背側(cè)延伸穿過所述陶瓷基板到面向管芯側(cè)的開口，其中所述開口與所述腔對(duì)準(zhǔn)，形成流體通道，以促進(jìn)工作流體從所述基板流到所述隔膜；和

其中傳感器管芯的第二側(cè)和所述陶瓷基板的面向管芯側(cè)中的一個(gè)或兩個(gè)包括金屬化層，該金屬化層與焊料層直接接觸并接合焊料層，其中金屬化層和焊料層設(shè)置在流體通道周圍。

2.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器組件(100)，其中所述傳感器管芯(102)包括所述金屬化層(218)，該金屬化層介于所述第二側(cè)(204)和所述焊料層(201)之間。

3.如權(quán)利要求2所述的壓力傳感器組件(100)，其中所述傳感器管芯(102)包括設(shè)置在所述硅芯片(202)和所述金屬化層(218)之間的玻璃約束基座(220)，所述傳感器管芯的第二側(cè)是所述玻璃約束基座的與所述傳感器管芯相對(duì)的表面。

4.如權(quán)利要求2所述的壓力傳感器組件(100)，其中所述金屬化層(218)具有包括以下中的一個(gè)或多個(gè)的組分：鈦、鎳、金、鉻或鉑。

5.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器組件(100)，其中所述陶瓷基板(104)包括介于所述陶瓷基板的面向管芯側(cè)(212)和所述焊料層(201)之間的所述金屬化層。

6.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器組件(100)，其中所述陶瓷基板(104)具有包括氧化鋁的組分。

7.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器組件(100)，其中所述隔膜(106)具有面向所述腔(232)的內(nèi)側(cè)(208)和與所述內(nèi)側(cè)相對(duì)的外側(cè)(210)，所述一個(gè)或多個(gè)電感測(cè)元件(109)安裝至所述隔膜的外側(cè)。

8.如權(quán)利要求1所述的壓力傳感器組件(100)，其中所述焊料層(201)具有金屬合金組分，金屬合金組分包括錫和以下中的一個(gè)或多個(gè)：銀、銅、錳、銻、鉍、鉛或銦。