[發(fā)明專(zhuān)利]一種太能電池的生產(chǎn)系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811227620.3
• 申請(qǐng)日: 2018-10-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109545885A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱金浩;吳國(guó)強(qiáng);許布;劉義德;陳玨榮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江光隆能源科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 嘉興永航專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 33265
• 代理人: 俞培鋒

1.一種太能電池的生產(chǎn)系統(tǒng)，包括底座，其特征在于，所述底座上設(shè)置有清洗裝置、制絨裝置、擴(kuò)散裝置、刻蝕裝置、去PSG裝置、PECVD裝置、漿料配制裝置、印刷裝置、鈍化處理裝置和燒結(jié)裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太能電池的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述PECVD裝置包括機(jī)座，機(jī)座固定在底座上，機(jī)座上固定有箱體，箱體內(nèi)設(shè)置有內(nèi)部具有鍍膜腔的雙層石英管，雙層石英管內(nèi)固定有感應(yīng)線圈，雙層石英管一端上具有取放口，雙層石英管上設(shè)置有能將取放口封閉住的蓋板，蓋板和進(jìn)氣管一端相連通，進(jìn)氣管另一端與送氣混合機(jī)構(gòu)相連，進(jìn)氣管上設(shè)置有電磁閥三，雙層石英管另一端和排氣管一端相連通，排氣管另一端與真空機(jī)構(gòu)相連，排氣管上設(shè)置有電磁閥四，送氣混合機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸、螺旋管一、螺旋管二、送氣引管一、送氣引管二和具有空腔的混合桶，混合桶通過(guò)支撐腳水平固定在機(jī)座上，轉(zhuǎn)動(dòng)軸水平轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在混合桶內(nèi)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸端部與一能帶動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)力結(jié)構(gòu)一相連，螺旋管一和螺旋管二分別盤(pán)繞在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上，螺旋管一為正向盤(pán)繞，螺旋管二為反向盤(pán)繞，螺旋管一的一端為封閉端，螺旋管一的中部具有若干氣孔一，螺旋管一的另一端和送氣引管一的一端相連通，送氣引管一的另一端穿過(guò)混合桶一側(cè)與外界氣源一相連，螺旋管二的一端為封閉端，螺旋管二的中部具有若干氣孔二，螺旋管二的另一端和送氣引管二的一端相連通，送氣引管二的另一端穿過(guò)混合桶另一側(cè)與外界氣源二相連，混合桶中部還具有出氣口，出氣口和進(jìn)氣管另一端相連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太能電池的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述排氣管上還設(shè)置有單向閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太能電池的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述動(dòng)力結(jié)構(gòu)一包括步進(jìn)電機(jī)一、主動(dòng)輪一和從動(dòng)輪一，步進(jìn)電機(jī)一通過(guò)安裝桿固定在混合桶內(nèi)，步進(jìn)電機(jī)一的輸出軸水平設(shè)置，主動(dòng)輪一固定在步進(jìn)電機(jī)一的輸出軸端部，從動(dòng)輪一固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸端部，且從動(dòng)輪一與主動(dòng)輪一相嚙合。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太能電池的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述真空機(jī)構(gòu)包括真空泵、真空緩存罐、連接管、水箱、進(jìn)水管、回水管、熱交換管和循環(huán)泵，連接管一端和排氣管另一端相連通，連接管另一端和真空泵相連通，連接管另一端上還設(shè)置有電磁閥五，連接管中部通過(guò)輔助管和真空緩存罐相連通，輔助管上還設(shè)置有電磁閥六，熱交換管設(shè)置在真空緩存罐內(nèi)，熱交換管一端通過(guò)進(jìn)水管和水箱下部相連通，熱交換管另一端通過(guò)回水管和水箱上部相連通，循環(huán)泵設(shè)置在進(jìn)水管上。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太能電池的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述熱交換管上還套設(shè)有若干鋁翅片。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太能電池的生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述真空緩存罐上還連接有氣壓表。